«Контрольно-навигационная система современного сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса» УДК 621.523.22 В.А. Васин, Е.Н. Ивашов, С.В. Степанчиков (МИЭМ) E-mail: vacuumwa@yandex.ru КОНТРОЛЬНО-НАВИГАЦИОННАЯ СИСТЕМА СОВРЕМЕННОГО СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНОГО АНАЛИТИКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО КОМПЛЕКСА Рассмотрены устройства для определения положения исполнительных систем оборудования в пространстве, в которых их положение и движение определяются непосредственно в абсолютных координатах. <...> Показаны варианты выполнения устройства для определения положения тела в пространстве, отличающиеся друг от друга измеряемыми расстояниями. <...> Предложена контрольно-навигационная система для сверхвысоковакуумного аналитико-технологического комплекса обработки полупроводниковых структур в замкнутом цикле. <...> Ключевые слова: контрольно-навигационная система, структура l-координат, абсолютные координаты, система обратной связи, аналитико-технологический комплекс. <...> Например, в инерциальной навигации, задача которой заключается в определении ориентации и местоположения объектов в пространстве [1], обычно применяют систему координат Декарта–Эйлера, в которой уравнения движения твердого тела в пространстве имеют вид: x = f1(t); y = f2(t); z = f3(t); φ = f4(t); θ = f5(t); ψ = f6(t). <...> В системе l-координат [2, 3] положение твердого тела 1 в пространстве определяется с помощью шести чисел l1, l2, …, l6, равных длинам отрезков, соединяющих точки тела с точками неподвижной базы 2 таким образом, что при заданных значениях l1, l2, …, l6 образуется геометрически неизменяемая структура (рис. <...> Контрольно-навигационная l-координатная система предусматривает определение текущего положения объекта в пространстве путем измерения его координат – шести расстояний от заданных точек неподвижной базы до заданных точек объекта в соответствии с одной из структур l-координат. <...> Измерение координат положения тела в пространстве может производиться одновременно или неодновременно <...>