RU 5, 2012 Models of coagulation and mechanism of growth of agglomerates in clean rooms of microelectronics E. A. Sevryukova National Research University of Electronic Technology 5 Passage 4806, Zelenograd, Moscow, 124498, Russia E-mail: melaly@mail.ru This article is devoted to the mathematical description of the distribution of the sizes of agglomerates research aerosol particle collision mechanism options with different masses, model analysis based on coagulation of elementary particle colliding of two aerosol microclimate parameters change in net space microelectronics. <...> Представлено математическое описание распределения агломератов по их размерам, исследованию вариантов механизма столкновения частиц аэрозоля с различными массами, анализу моделей коагуляции на основе элементарного слияния двух сталкивающихся частиц аэрозоля при изменении параметров микроклимата в чистом помещении микроэлектроники! <...>