ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ®
НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ЖУРНАЛ
УСПЕХИ
2017, том 5, № 5
Основан в 2013 г.
Москва
С О Д Е Р Ж А Н И Е
ФИЗИКА ПЛАЗМЫ И ПЛАЗМЕННЫЕ МЕТОДЫ
Артемьев К. В., Батанов Г. М., Бережецкая Н. К., Давыдов А. М., Коссый И. А., Нефедов В. И.,
Сарксьян К. А., Харчев Н. К. Подпороговый разряд высокого давления, возбуждаемый пучком
микроволн: физические основы и приложения ....................................................................................... 429
Золотухин Д. Б., Бурдовицин В. А., Тюньков А. В., Юшков Ю. Г., Окс Е. М., Голосов Д. А.,
Завадский С. М. Реактивные методы осаждения пленок оксидов титана (обзор) ............................... 442
ФОТОЭЛЕКТРОНИКА
Холоднов В. А., Бурлаков И. Д. К вопросу оптимизации параметров двойной гетероструктуры на
основе прямозонных полупроводников для лавинных фотодиодов ..................................................... 453
Артамонов А. В., Астахов В. П., Гиндин П. Д., Евстафьева Н. И., Карпов В. В., Соловьёва Г. С.,
Степанюк В. Е. Фотонный отжиг при изготовлении планарных фотодиодов из антимонида
индия ............................................................................................................................................................ 459
Козлов К. В., Стрельцов В. А., Патрашин А. И., Косых В. П., Громилин Г. И. Аналитический
метод оценки параметров инфракрасного многорядного фотоприемного устройства ....................... 466
ФИЗИЧЕСКАЯ АППАРАТУРА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ
Денисов Д. Г. Метод частичного подавления спекл-структуры при интерферометрическом
контроле микронеровностей шлифованных оптических поверхностей ............................................... 481
Гибин И. С., Котляр П. Е. Гибридные автоэмиссионные фотокатоды (обзор) .................................... 497
Наумов Н. Д. Оптимизированный метод расчета рупорной антенны ................................................... 508
ИНФОРМАЦИЯ
XLV Международная Звенигородская конференция по физике плазмы и управляемому
термоядерному синтезу .......................................................................................................................... 514
Правила для авторов ................................................................................................................................ 517
Подписка на электронную версию журнала ........................................................................................ 520
Стр.1
Учредитель журнала:
Акционерное общество «НПО «Орион» —
Государственный научный центр Российской Федерации
(ГНЦ РФ АО «НПО «Орион»)
Журнал зарегистрирован в реестре Роскомнадзора
ПИ № ФС 77-53027
Международный стандартный серийный номер
ISSN 2307-4469
Выходит 6 раз в год
Главный редактор
И. Д. Бурлаков, д.т.н., профессор
Редакционная коллегия
Баринов В. И., к.ф.-м.н., доцент (заместитель главного редактора)
Болтарь К. О., д.ф.-м.н., профессор
Василяк Л. М., д.ф.-м.н., профессор (заместитель главного редактора)
Гуляев Ю. В., д.ф.-м.н., академик РАН
Двуреченский А. В., д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН
Иванов В. А., к.ф.-м.н., доцент
Латышев А. В., д.ф.-м.н., академик РАН, профессор
Лебедев Ю. А., д.ф.-м.н.
Пономаренко В. П., д.ф.-м.н., профессор
Попов С. В., д.т.н.
Пустовойт В. И., д.ф.-м.н., академик РАН
Рухадзе А. А., д.ф.-м.н., профессор
Салаев Э. Ю., д.ф.-м.н., академик НАН Азербайджана, профессор
Сигов А. С., д.ф.-м.н., академик РАН, профессор
Тришенков М. А., д.т.н., профессор
Ямщиков В. А., д.т.н., член-корреспондент РАН
Издатель — ГНЦ РФ АО «НПО «Орион».
111538, Москва, ул. Косинская, д. 9,
Адрес редакции журнала «Успехи прикладной физики»:
111538, Москва, ул. Косинская, д. 9,
АО «НПО «Орион».
Телефон: 8 (499) 374-82-40
E-mail: advance@orion-ir.ru
Internet: advance.orion-ir.ru
Подписано в печать 20.10.2017.
Формат А4. Бумага офсетная.
Печать цифровая. Усл. печ. л. 11,2. Уч.-изд. л. 11,5.
Тираж 140 экз. Цена договорная.
Отпечатано в типографии ООО «ВАШ ФОРМАТ».
Адрес: 119071, Москва, ул. Малая Калужская, 15.
Тел. (495) 749-45-84
Успехи прикладной физики®
© Редколлегия журнала «Успехи прикладной физики",
составление, 2017
© Редакция журнала «Успехи прикладной физики»,
оформление, 2017
Журнал представлен в Перечне ВАК и включен в базы
данных Научной Электронной Библиотеки (РИНЦ) и
Chemical Abstracts (CA)
Подписной индекс
в Объединенном каталоге «Пресса России» — 20999
Стр.2
USPEKHI PRIKLADNOI FIZIKI
(ADVANCES IN APPLIED PHYSICS)
THE SCIENTIFIC AND TECHNICAL JOURNAL
2017, Vol. 5, No. 5
Founded in 2013
Moscow
C O N T E N T S
PLASMA PHYSICS AND PLASMA METHODS
K. V. Artem’ev, G. M. Batanov, N. K. Berezhetskaya, A. M. Davydov, I. A. Kossyi, V. I. Nefedov,
K. A. Sarksyan, and N. K. Kharchev Subthreshold high-pressure discharge excited by a microwave
beam: the physical basics and applications ............................................................................................. 429
D. B. Zolotukhin, V. A. Burdovitsin, A. V. Tyunkov, Yu. G. Yushkov, E. M. Oks, D. A. Golosov,
and S. M. Zavadskiy Reactive methods for titanium oxides thin films deposition (a review) ................ 442
PHOTOELECTRONICS
V. A. Kholodnov and I. D. Burlakov To the question of optimization of parameters of double heterostructure
on the basis of direct gap semiconductors for avalanche photodiodes .................................... 453
A. V. Artamonov, V. P. Astakhov, P. D. Gindin, N. I. Evstaf’eva, V. V. Karpov, G. S. Solovyova,
and V. E. Stepanyuk Photon annealing at planar photodiodes from indium antimony manufacture
..................................................................................................................................................... 459
K. V. Kozlov, V. A. Streltsov, A. I. Patrashin, V. P. Kosykh, and G. I. Gromilin Analytical method
for evaluation of the IR multirow photodetector parameters .................................................................. 466
PHYSICAL EQUIPMENT AND ITS ELEMENTS
D. G. Denisov Method of partial suppression of a speckle-pattern at the interferometric control
of polished optical surfaces microroughness .......................................................................................... 481
I. S. Gibin and P. E. Kotlyar Hybrid autoemission photocathodes (a review) ....................................... 497
N. D. Naumov Optimized method of calculation of the horn antenna .................................................... 508
INFORMATION
XLV International Zvenigorod Conference on Plasma Physics and Controlled Thernomuclear
Fusion ..................................................................................................................................................... 514
Rules for authors .................................................................................................................................... 517
Subscription to an electronic version of the journal ............................................................................. 520
Стр.3
A Founder of the Journal:
Orion Research and Production Association, a Joint Stock Company —
a Russian Federation State Research Center
(Orion R&P Association, JSC)
ISSN 2307-4469
The Bi-Monthly Journal
Editor-in-Chief
I. D. Burlakov, D.Sc., Professor
Editorial Board
Barinov V. I., Ph.D., Associate Professor (Deputy Editor-in-Chief)
Boltar K. O., D.Sc., Professor
Gulyaev Yu. V., D.Sc., Academician of the RAS
Dvurechensky A. V., D.Sc., Corresponding Member of the RAS
Ivanov V. A., Ph.D., Associate Professor
Latyshev A. V., D.Sc., Academician of the RAS, Professor
Lebedev Yu. A., D.Sc.
Ponomarenko V. P., D.Sc., Professor
Popov S. V., D.Sc.
Pustovoyit V. I., D.Sc., Academician of the RAS
Rukhadze A. A., D.Sc., Professor
Salayev E. Yu., D.Sc., Academician of the NAS of Azerbajan, Professor
Sigov A. S., D.Sc., Academician of the RAS, Professor
Trishenkov M. A., D.Sc., Professor
Vasilyak L. M., D.Sc., Professor (Deputy Editor-in-Chief)
Yamschikov V. A., D.Sc., Corresponding Member of the RAS
Address of the Editorial Staff:
Uspekhi Prikladnoi Fiziki (Advances in Applied Physics),
Orion R&P Association, JSC
9 Kosinskaya str., Moscow, 111538, Russia
Publisher – NPO Orion
(Orion R&P Association, JSC)
9 Kosinskaya str., Moscow, 111538, Russia
Phone: +7 (499) 374-82-40
E-mail: advance@orion-ir.ru
Internet: advance.orion-ir.ru
Стр.4