Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 610204)
Контекстум
Прикладная физика  / №5 2011

Продольный источник ионов с токовой автокомпенсацией фокусированного ионного пучка (10,00 руб.)

0   0
Первый авторБизюков
АвторыГирка А.И., Середа К.Н., Слепцов В.В., Ромащенко Е.В.
Страниц6
ID456450
АннотацияПоказано, что использование баллистической фокусировки в продольном ионном источнике холловского типа позволяет преобразовать форму ионного пучка из "эллипсовидной" в линейную и увеличить плотность тока ионного пучка на обрабатываемой поверхности. Исследовано влияние поперечного магнитного поля источника и краевых эффектов на форму пучка. Разработан плазменный нейтрализатор ионного пуша на основе дополнительного несамостоятельного газового разряда магнетронного типа с использованием эффекта "полого катода"
УДК621.384
Продольный источник ионов с токовой автокомпенсацией фокусированного ионного пучка / А.А. Бизюков [и др.] // Прикладная физика .— 2011 .— №5 .— С. 70-75 .— URL: https://rucont.ru/efd/456450 (дата обращения: 16.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Longitudinal ion source with a current self-compensation of the focused ion beam A. A. Bizyukov, A. I. Girka, K. N. Sereda V. N. Karazin Kharkiv National University, 4 Svobody sq., Kharkiv, 61077, Ukraine E-mail: bizyukov@mail.ru V. V. Sleptsov Moscow State Aviation Technological University (MATI), 14/2 Bernikovskaya embankment, Moscow, 121552, Russia E-mail: 08fraktal@inbox.ru  5, 2011 E. V. Romashchenko Volodymyr Dahl East Ukrainian National University, 20- Molodizhny bl., Luhansk, 91034, Ukraine E-mail: romaschenko@bk.ru In this work we introduce the ballistic focusing for the longitudinal Hall-type ion source. <...> The focusing transforms the ion beam shape from ‘ellipsoidal’ one to linear one and increases the ion beam current density per the operating surface. <...> The transversal magnetic field and edge effects are investigated as a factor influencing the beam shape. <...> Charge neutralization of the ion beam is performed by plasma neutralizer, which uses supplementary semi-self-maintained magnetron-type discharge and hollow cathode effect. <...> PACS: 52.59.-f Keywords: ion source, focused ion beam, beam current neutralization, dielectric target potential. <...> Показано, что использование баллистической фокусировки в продольном ионном источнике холловского типа позволяет преобразовать форму ионного пучка из "эллипсовидной" в линейную и увеличить плотность тока ионного пучка на обрабатываемой поверхности. <...> Исследовано влияние поперечного магнитного поля источника и краевых эффектов на форму пучка. <...>