Технологии в электронной промышленности, № 7’2015 Новые решения для повышения эффективности дисковой резки С активным развитием рынка микроэлектроники неизбежно растут требования к качеству компонентов. <...> В связи с этим перед производителями возникает задача совмещения высокого качества и приемлемой стоимости изделий, поскольку именно такое соотношение определяет конкурентоспособность продукта на рынке. <...> Решение данной задачи сопряжено с повышением эффективности каждого из этапов производства. <...> Новые продукты компании ADT позволяют значительно увеличить эффективность одной из ключевых операций при производстве электронных компонентов — дисковой резки. <...> Илья Нотин micro@ostec-group.ru Введение В 2015 году компания ADT представила целый ряд новых продуктов, позволяющих расширить диапазон решаемых задач, а также повысить качество дисковой резки. <...> В числе новых систем — бюджетная одношпиндельная установка дисковой резки 7910 Uno (рис. <...> 1), которая отличается малой занимаемой площадью, большой рабочей областью (8″) и возможностью использования 2- и 3-дюймовых дисков. <...> Система призвана снизить порог стоимости при оснащении производств участками дисковой резки и обеспечить высокое качество получаемого реза. <...> 2 приведен пример реза подложки из поликора размером 6048 мм и толщиной 1 мм, полученного с помощью установки ADT7910 Uno с использованием диска на полимерной основе толщиной 250 мкм и размером абразива 45 мкм. <...> Результат разделения показал, что сколы на верхней поверхности пластины составляют в среднем 26,8 мкм, что говорит о высоком качестве реза. <...> Также компанией ADT была представлена обновленная система контроля участка дисковой резки Dicing Floor Management (DFM) (рис. <...> 3), предназначенная для сбора, хранения, анализа данных о результатах резки, производительности, времени работы каждой установки, контроля работы операторов. <...> Кроме того, система позволяет переносить режимы работы (рецепты) с одной установки на другую, осуществлять <...>