Технологии в электронной промышленности, № 2’2016 Изготовление многослойных структур из SU8 для терагерцевого волновода со сверхнизкими потерями В статье1 представлены результаты микросборки первого в своем роде полого волновода на основе многослойной конструкции из фотополимера SU8. <...> В соответствии с эксплуатационными испытаниями волновод обладает сверхнизкими потерями передачи (0,028–0,03 дБ/мм), что сопоставимо с показателями, наблюдаемыми в волноводах, полученных прецизионным фрезерованием на станках с ЧПУ. <...> Йингтао Тьян (Yingtao Tian) Ксаобанг Шан (Xiaobang Shang) Микаэль Ланкастер (Michael J. Lancaster) Перевод: Вячеслав Хриченко Юлия Боброва ми технология создания многослойных структур из SU8 имеет большие перспективы в снижении вносимых потерь в передачу излучения по волноводу. <...> Кроме того, на достижение высоких эксплуатационных показателей повлияли такие факторы, как высокая равномерность толщины слоев SU8 и низкая шероховатость поверхности напыленного серебряного покрытия, что привело лишь к незначительному ослаблению СВЧ-сигнала. <...> На данный момент без него нельзя представить такие области науки и техники, как медицинская визуализация, сверхбыстрое беспроводное соединение, системы безопасности [1] и прочее. <...> Для того чтобы при столь высоких частотах достичь минимальных потерь и затухания сигнала на всей линии передачи, ее ключевые элементы должны обладать высокой точностью размеров и низкой шероховатостью поверхности. <...> Потери при передаче определяются затуханием сигнала, проходящего через устройство. <...> Таким образом, уменьшение вносимых потерь способствует увеличению производительности устройства. <...> Необходимым элементом СВЧ- и КВЧ-систем является волновод, который обычно представляет 1 2 Оригинал статьи опубликован в журнале J. <...> Ввиду устранения воздушных зазоров между слоясобой полый, заполненный воздухом канал, передающий электромагнитные волны. <...> Традиционно волноводы изготавливаются с помощью <...>