44 УДК 533.9.08 Автоматизированная диагностика плазмы магнетронного разряда по эмиссионным атомно-молекулярным спектрам В. М. Градов, А. М. Зимин, С. Е. Кривицкий, С. В. Серушкин, В. И. Тройнов Представлен аппаратно-программный комплекс для исследования пространственных распределений излучательной способности плазмы, позволяющий проводить регистрацию и автоматизированное распознавание линий и систем молекулярных полос, а также компьютерную обработку спектров. <...> Проведена идентификация молекулярных полос дейтерия для различных электронно-колебательно-вращательных переходов. <...> Для разряда в планарном магнетроне оценены температуры возбуждения атомных уровней, поступательная, а также парциальные вращательные и колебательные температуры. <...> Kz Ключевые слова: спектральная диагностика плазмы, автоматизированный комплекс, магнетронный разряд, атомные и молекулярные спектры. <...> Введение Наблюдаемое в последнее время повышение интереса к изучению физики и свойств магнетронного разряда, развивающегося в скрещенных Е–Н-полях, связано с тем, что наряду с традиционными применениями для нанесения покрытий и получения тонких пленок магнетронные распылительные системы (МРС) [1] позволяют получать кластерные пучки для нанотехнологий [2] и используются также для моделирования взаимодействия интенсивных ионных потоков с обращенными к плазме компонентами термоядерного реактора [3, 4]. <...> В плазме разряда присутствуют несколько групп частиц (атомы и молекулы плазмообразующего газа, частицы материала катода, кластеры, электроны вторичной эмиссии, термализованные электроны, ускоренные ионы), сильно различающихся своими характеристиками. <...> E-mail: zimin@power.bmstu.ru Статья поступила в редакцию 15 сентября 2011 г. © Градов В. М., Зимин А. М., Кривицкий С. Е., Серушкин С. В., Тройнов В. И., 2012 Ввод в плазму ленгмюровского или магнитного зондов часто приводит к погасанию разряда, а полученные с помощью зондовых методик результаты не <...>