Прикладная физика, 2014, № 3 83 Физическая аппаратура и е¸ элементы УДК 535:621.373.826:539.25 Экспериментальная установка по микро- и наноструктурированию поверхности твердых тел лазерным излучением Ю.А. Железнов, Т.В. Малинский, С.И. Миколуцкий, В.Н. Токарев, Р.Р. Хасая, Ю.В. Хомич, В.А. Ямщиков Создана экспериментальная установка для микро- и наноструктурирования поверхности на основе импульсно-периодических ArF-лазера ( = 193 нм) и Nd:YAG лазера ( = 532 нм и = 355 нм). <...> Описаны схема работы и основные параметры установки. <...> Экспериментально продемонстрирована возможность получения структур с микронными и субмикронными размерами на поверхности диоксида циркония и титана при облучении наносекундными лазерными импульсами. <...> Представлены микрофотографии поверхностных структур на образцах из диоксида циркония и титана. <...> Eb Ключевые слова: наноструктурирование поверхности, наносекундное лазерное излучение, диоксид циркония, титан. <...> Введение Последнее десятилетие характеризуется повышенным вниманием к наноструктурам как перспективному объекту для применения в различных областях науки и техники. <...> Наноструктуры используются в оптике, химической промышленности, в приборах для медико-биологических исследований [1–3]. <...> Все это обуславливает необходимость создания экспериментальных установок и разработки новых методов для получения и исследования наноструктур. <...> В современных методах микрообработки материалов и нанотехнологий широко используются лазерные источники излучения. <...> Одним из перспективных методов модификации рельефа и свойств поверхностей является метод прямого лазерного наноструктурирования [4, 5]. <...> E-mail: vtokarev56@mail.ru Cтатья поступила в редакцию 15 апреля 2014 г. © Железнов Ю.А., Малинский Т.В., Миколуцкий С.И., Токарев В.Н., Хасая Р.Р., Хомич Ю.В., Ямщиков В.А., 2014 может быть использован для получения поверхностных наноструктур [6–10], а также для увеличения эффективности топливных ячеек, применяемых в водородной энергетике <...>