Прикладная физика, 2014, № 3 УДК 541.13 Плазмохимический генератор озона с повышенной однородностью микроразрядных процессов в барьерном разряде В.В. Андреев, А.Н. Матюнин, Ю.П. Пичугин В работе представлены результаты исследования по увеличению однородности микроразрядов в ячейке диэлектрического барьерного разряда (ДБР). <...> Результаты исследования важны для оптимизации плазмохимических процессов. <...> В частности, в созданном макете плазмохимического генератора озона на ДБР с магнитодиэлектрическими барьерами производительность по озону на 30-40% выше, чем в случае использования обычных диэлектриков в качестве барьера. <...> Tn Ключевые слова: микроразряд, диэлектрический барьерный разряд, магнитодиэлектрик, высокоомный электрод, плазмохимический генератор, синтез озона. <...> 39 Введение В настоящее время интенсивно развиваются технологии, основанные на применении приповерхностной плазмы, генерируемой в разрядных ячейках объ¸много, поверхностного и компланарного барьерных электрических разрядов. <...> Плазменные и плазмохимические технологии могут быть эффективны, в частности, при разработке методов плазменного (так называемого «сухого») травления [1], технологий формирования поверхностных слоев [2], методов направленного изменения физикохимических свойств поверхностных слоев материалов [3– 5]. <...> Кроме того, широкое применение находят плазмохимические реакторы на основе диэлектрического барьерного разряда в качестве промышленных источников озона [8–12]. <...> Следует отметить, что озон является мощным окислителем, а также обладает высокой способностью уничтожать бактерии, споры и одноклеточные организмы. <...> Ячейка диэлектрического барьерного разряда с одним игольчатым и одним плоским электродами: 1 – плоский металлический электрод; 2 –игольчатый металлический электрод; 3 – диэлектрик; 4 – высоковольтный источник питания; 5 – канал микроразряда. ячейке диэлектрического барьерного разряда (ДБР). <...> Результаты исследования <...>