Прикладная физика, 2014, № 2 УДК 621.383.4/5:621.315.59 Матричное фотоприемное устройство на основе антимонида индия формата 640х512 с шагом 15 мкм Д.Л. Балиев, К.О. Болтарь, П.В. Власов, Л.В. Киселева, В.Е. Ложников, А.А. Лопухин, Н.Г. Мансветов, В.В. Полунеев, В.С. Рудневский, А.В. Савостин Разработана технология изготовления крупноформатного матричного фотоприемного устройства (МФПУ) на спектральный диапазон 3–5 мкм формата 640х512 с шагом элементов 15 мкм на основе фотодиодов из антимонида индия. <...> МФПУ является развитием выпускаемого серийно МФПУ формата 320х256 элементов с шагом 30 мкм с охладителем типа интегральный Стирлинг и блоком предварительной электронной обработки сигналов. <...> Среднее значение разности температур эквивалентной шуму (ЭШРТ) в оптимальном режиме составляет 21 мК. <...> Введение Лучшие матричные фотоприемные устройства (МФПУ) на спектральный диапазон 3–5 мкм изготавливаются на основе фотодиодов из антимонида индия [1– 4]. <...> Повышенный формат в сочетании с малым шагом элементов МФПУ при низкой дефектности позволяет обеспечивать повышенную дальность обнаружения и распознавания объектов, снижение минимальной различимой разности температур и минимальных размеров обнаруживаемых целей, увеличение количества информации о наблюдаемых объектах. <...> Поэтому крупноформатные МФПУ на основе антимонида индия находят все большее применение в военной и гражданской электронной аппаратуре. <...> В работе представлены характеристики отечественного крупноформатного МФПУ на основе антимонида индия формата 640х512 элементов с шагом 15 мкм, которое является развитием выпускаемого серийно МФПУ формата 320х256 элементов с шагом 30 мкм [5–7] с охладителем типа интегральный Стирлинг и блоком предварительной электронной обработки сигналов [8]. <...> Cтатья поступила в редакцию 2 марта 2014 г. © Балиев Д.Л., Болтарь К.О., Власов П.В., Киселева Л.В., Ложников В.Е., Лопухин А.А., Мансветов Н.Г., Полунеев В.В., Рудневский В.С., Савостин А.В <...>