30 УДК 539.21 Структура и некоторые свойства пылевых частиц из плазмы дугового разряда Н.А. Смоланов, Н.А. Панькин, В.В. Батин, Е.П. Павкин Исследованы порошки на основе карбонитрида титана, полученные из плазменной среды вакуумного дугового разряда. <...> Структура и свойства порошков зависят от режимов распыления, особенно величины потенциала межэлектродного пространства и давления реакционных газов – азота и ацетилена. <...> Обсуждаются возможные механизмы формирования структур при эволюции плазменного потока от катодного пятна до стенок вакуумной камеры. <...> Hk Ключевые слова: дуговой разряд, низкотемпературная плазма, катодное пятно, капельная фракция, морфология поверхности, фазовый и элементный состав, наноструктуры. <...> Введение Наиболее информативным и доступным материалом, который может содержать информацию о процессах, протекающих вблизи распыляемого катода и у стенок вакуумной камеры, являются пылевые частицы, извлекаемые из установок для дугового распыления. <...> Распыление материалов в дуговом разряде представляет интерес как одна из технологий получения разнообразных типов и форм наноструктур, в том числе и углеродных [1, 2]. <...> В основе их образования лежат процессы в катодном пятне, приводящие к эмиссии в поток плазмы атомов, ионов, электронов и других частиц, включая мелкодисперсную капельную фракцию. <...> При взаимодействии низкотемпературной плазмы со стенками газоразрядного промежутка (вакуумной камеры) происходит образование пылевых структур (сажи) в виде твердых отложений и воспринимаемых ранее просто как грязь [3]. <...> В токамаках пылевые частицы образуются как результат эрозии графитовых и металлических стенок. <...> При этом, как было отмечено в [4], пылевые частицы в токамаках не образуют пылевую плазму в классическом понимании, так как единичные пылинки в плазме токамаков быстро испаряются. <...> В основе их синтеза лежат, как и в дуговом разряде, процессы появления мелкодисперсной капельной фракции плазмы <...>