50 УДК 533.9.07 Энергетическая и газовая эффективности формирования ЭЦР-плазмы в коаксиальном резонаторе со спиральной волноводной структурой А. А. Балмашнов, Н. Б. Бутко, А. В. Калашников, В. В. Калашников, С. П. Степина, А. М. Умнов Представлены результаты экспериментального исследования параметров ЭЦР-плазмы, формируемой в коаксиальном резонаторе со спиральной волноводной структурой. <...> Определены зависимости газовой и энергетической эффективности формирования ионного потока от массового расхода рабочего газа (Ar) и СВЧ-мощности (2,45 ГГц), вводимой в резонатор. <...> Pi Ключевые слова: плазма, электронный циклотронный резонанс, ЭЦР, коаксиальный резонатор, газовая эффективность, энергетическая эффективность. <...> Введение В настоящее время источники плазмы на основе электронного циклотронного резонанса (ЭЦР) широко используются в различных областях науки и техники. <...> Реализуемые в них технические решения определяются конкретными процессами, для которых они разрабатываются, и связаны с применением различных конфигураций магнитных полей и типов СВЧ-колебаний, что позволяет локализовать области генерации заряженных частиц, их ускорение, накопление, характер пространственного распределения и транспортировку. <...> Одной из задач, решению которой посвящены исследования в ряде лабораторий мира, является создание плазменных ЭЦР-двигателей для различного класса космических аппаратов (плазменных инжекторов) [1]. <...> При этом для двигателей коррекции орбит легких космических аппаратов особое внимание уделяется разработке систем, в которых ЭЦР-разряд реализуется в коаксиальных резонаторах, экстракция ионной компоненты из которых может осуществляться как системой электродов [2], так и применением магнитного сопла [3]. <...> E-mail: anumnov@yandex.ru; abalmashnov@rambler.ru Статья поступила в редакцию 3 марта 2015 г. © Балмашнов А. А., Бутков Н. Б., Калашников А. В., Калашников В. В., Степина С. П., Умнов А. М., 2015 торов заключается в их компактности, определяющей <...>