Прикладная физика, 2015, № 2 УДК 537.924 Вращательное распределение молекул водорода в состоянии 3 в разряде с электронно-циклотронным резонансом S. <...> Lacoste, Ю. А. Лебедев, В. А. Шахатов Методом эмиссионной спектроскопии измерены функции распределения молекул по низким вращательным уровням молекулы водорода в триплетном состоянии 3 величины вращательной и поступательной температур основного и возбужденного триплетного состояний молекулы водорода. <...> Введение Молекулы водорода, возбужденные на колебательно-вращательные уровни основного 1 X g и электронных состояний, играют важную роль в кинетике водородной плазмы. <...> Для измерений концентраций возбужденных частиц используются методы эмиссионной спектроскопии плазмы [1—3]. <...> Данная работа посвящена спектральным исследованиям ЭЦР-разряда в водороде при низких давлениях. <...> Экспериментальная установка Эксперименты выполнены на установке с диполярными источниками плазмы (рис. <...> 1) лаборатории субатомной физики и космологии (LPSC) Центра исследования плазмы, материалов и наноструктур (CRPMN) университета им. <...> E-mail: lebedev@ips.ac.ru; shakhatov@ips.ac.ru Статья поступила в редакцию 18 марта 2015 г. © Bechu S., Lacoste A., Лебедев Ю. А., Шахатов В. А., 2015 от плазмы стеклянным цилиндром. <...> СВЧ-мощность (200—1200 Вт, на частоте 2,45 ГГц) делится на четыре части, каждая из которых подводится к четырем диполярным источникам плазмы. <...> Источники охлаждаются проточной водой или парами жидкого азота. <...> Спектральные исследования низкотемпературной плазмы (НТП) выполнены в двух областях камеры (3 и 4 на рис. <...> Для записи спектров в диапазоне длин волн = 608—628 нм применяется спектрометр Horiba Jobin–Yvon HR1000 со спектральным разрешением 0,01 нм. <...> Излучение плазмы отбирается через кварцевые окна, установленные в боковой стенке камеры. d u и определены d u 45 Рис. <...> Установки для спектральных исследований ЭЦРразряда в водороде: 1 — разрядная камера; 2 — съемный стеклянный (Пирекс) цилиндр; 3 — ЭЦР-разряд; 4 — диффузионная область разряда <...>