Прикладная физика, 2015, № 2 УДК 533.9, 51-74 Отдельные элементы физико-математической модели геликонного разряда В. В. Кузенов, С. В. Рыжков Построена приближенная математическая модель физических процессов в геликонном разряде. <...> Эта модель позволяет найти математические связи между вкладываемой мощностью, параметрами плазмы и электромагнитными полями, возбуждаемыми в цилиндрически симметричном геликоном разряде. <...> На группе экспериментальных и расчетных данных произведена первоначальная верификация отдельных результатов численных расчетов, выполненных с использованием разработанной приближенной математической модели. <...> Xz, 52.65.-y Ключевые слова: ВЧ-разряд низкого давления, геликонный разряд, математическая модель, ионизация, неоднородные электрические и магнитные поля. <...> Введение математическая модель, учитывающая ный источник плазмы (~ 1013 см3), представляющий собой разновидность индукционного ВЧразряда, помещенного в слабое (50—600 Гс) внешнее магнитное поле. <...> В этом случае для создания высокоэффективного источника ионов частота внешнего генератора мощности и геометрические размеры (R, L) газоразрядной камеры подбираются так, чтобы можно было возбудить в ВЧплазме разряда систему собственных объемных колебаний геликонного типа. <...> При этом частота , на которой работает внешний генератор мощности, лежит между электронной H и ионной H ларморовскими частотами, т. е. H < < H. <...> Для нахождения условий возбуждения и Геликонный разряд — это высокоэффективанализа механизма поглощения волн в геликонных источниках ионов необходимо разработать приближенные математические модели и численно решить самосогласованную задачу нахождения математических связей между вкладываемой мощностью, параметрами плазмы и электромагнитными полями, возбуждаемыми в цилиндрически симметричном ВЧ-источнике плазмы. <...> Основными элементами приближенной математической модели ВЧ-источника плазмы являются: Кузенов <...>