Прикладная физика, 2015, № 3 УДК 535:621.373.826:539.25 Эффективный метод увеличения длительности импульса излучения электроразрядного KrF-лазера Ю. А. <...> Железнов, Р. Р. Хасая, Ю. В. Хомич, В. А. Ямщиков Исследована возможность увеличения длительности генерации эксимерного KrF-лазера за счет использования режима накачки активной среды с периодически затухающим напряжением на разрядном промежутке. <...> Rn Ключевые слова: эксимерные лазеры, длительность лазерного импульса, энергия излучения, высоковольтный генератор накачки. <...> Введение Электроразрядные эксимерные лазеры широко применяются в промышленности, медицине, микроэлектронике, научных исследованиях и технологиях. <...> Эти лазеры способствуют развитию новых методов микрообработки материалов, включая модификацию рельефа и свойств поверхностей методом прямого лазерного наноструктурирования [1—8]. <...> С одной стороны, это сравнительно низкая монохроматичность и высокая расходимость оптического пучка эксимерных лазеров, обусловленная коротким временем существования инверсной населенности (≈ 10 нс). <...> С другой стороны, под воздействием мощного УФ- и ВУФ-излучения возникает эффект уплотнения вещества оптических деталей установки, который проявляется наиболее сильно в ArF- и F2-лазерах. <...> E-mail: yamschikov52@mail.ru Статья поступила в редакцию 9 апреля 2015 г. © Железнов Ю. А., Хасая Р. Р., Хомич Ю. В., Ямщиков В. А., 2015 85 При решении указанных проблем используется метод увеличения длительности импульса лазерного излучения [9—11]. <...> Одновременно в результате увеличения длительности излучения снижается пиковая интенсивность пучка и ослабляется негативное влияние эффекта уплотнения вещества. <...> Для получения затянутого во времени лазерного импульса в [16, 17] была предложена электрическая схема генератора накачки (ГН) с магнитными звеньями сжатия высоковольтных импульсов, состоящими из сосредоточенных емкостей и насыщающихся дросселей. <...> В этом случае число последовательных звеньев сжатия должно <...>