УДК 669.713.7 © В.И. Богданович, В.А. Барвинок, В.Г. Небога, А.Н. Асмолов, М.Г. Гиорбелидзе, Г.З. Бунова, Е.В. Еськина ОПТИМИЗАЦИЯ ТЕРМИЧЕСКОГО ЦИКЛА НАГРЕВА ТОНКОПЛЁНОЧНОГО ПОЛИМЕРА ПРИ ПОЛУЧЕНИИ НАНОСТРУКТУРНЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ На примере математического моделирования оптимизации термического цикла нагрева тонкоплёночного полимера при ионно-плазменной металлизации разработан достаточно общий подход для решения аналогичных задач при выращивании толстых покрытий из интенсивных тепловых потоков напыляемого материала. <...> Получено компактное математическое соотношение между технологическими параметрами режима напыления для определения условий стабилизации термического цикла напыления. <...> Результаты использованы для получения тонкоплёночных гибких электронагревателей с наноструктурным резистивным слоем для систем активного терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов. <...> Ключевые слова: краевые задачи нагрева и охлаждения при напылении, температурный цикл, оптимальная частота цикла, вакуумные ионно-плазменные наноструктурные покрытия, тонкоплёночный полимер. <...> Важной особенностью технологического процесса получения покрытий из интенсивных тепловых потоков напыляемого материала является непрерывное увеличение температуры системы покрытие-основа при наращивании покрытия [1 – 3]. <...> Такое изменение температуры системы приводит к изменению условий конденсации материала покрытий, изменению структуры и физико-химических свойств самого покрытия по его толщине и возможности выхода температуры системы за допустимые пределы, установленные из требований к материалам основы, к адгезионной прочности, к остаточным напряжениям и т. д. <...> В связи с этим при получении покрытий значительной толщины возникает необходимость организации процесса напыления периодическими циклами-напыления покрытия и охлаждения системы. <...> При этом для обеспечения стабильных и однородных по толщине <...>