УДК 621.891:546.26 © М.В. Атаманов, А.А. Дубравина, И.С. Левин, Е.А. Марченко, М.М. Хрущов СОСТАВ, СТРУКТУРА И ТРИБОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА АЛМАЗОПОДОБНЫХ ПОКРЫТИЙ, ЛЕГИРОВАННЫХ ХРОМОМ Приводятся некоторые результаты исследования структуры, наномеханических и трибологических свойств легированных хромом покрытий гидрогенизированного аморфного углерода, полученных реактивным магнетронным напылением в многокомпонентной активной атмосфере. <...> Ключевые слова: алмазоподобные углеродные покрытия, реактивное магнетронное напыление, легирование, гидрогенизированный аморфный углерод, трибологические свойства, коэффициент трения, рентгеноструктурный анализ, атомная структура, нанокомпозитная структура, спектроскопия комбинационного рассеяния, наноиндентирование. <...> Покрытия на основе аморфного углерода (a-C и a-C:H) обладают уникальным сочетанием трибологических свойств – высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения при работе в средах различных типов – и представляют значительный интерес в плане их использования в качестве перспективного триботехнического материала. <...> В последнем четырехвалентные sp3 -связи углерода характеризуются трехмерной сеткой сильных ковалентных взаимодействий, что ведет к высокому уровню механических свойств и их изотропному поведению. <...> Это выгодно отличает такие структуры от графита, например, для которого характерно состояние с sp2 -гибридизацией атомов, сопровождаемое значительной анизотропией механических свойств. <...> Таким образом, требуется создать покрытия аморфного углерода с метастабильной структурой, в которой количество sp3 -связей увеличено по сравнению со структурой графита. <...> Ионноплазменные технологии, основанные на использовании различных углеродосодержащих активных атмосфер и распыляемых мишеней, дают возможность получить алмазоподобные покрытия, легированные как неметаллическими элементами, так и металлами (Ti, W, Mo, Cr, Au и др.) и даже химическими <...>