УДК 537.525 О.А. Семенова, А.М. Ефремов, В.И. Светцов КИНЕТИЧЕСКИЕ И ТРАНСПОРТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОЦЕССОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО УДАРА В МЕТАНЕ (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: oa-semenova@mail.ru Сформирован набор сечений процессов под действием электронного удара для молекулы метана. <...> Проведены расчеты функции распределения электронов по энергиям, интегральных характеристик электронного газа (средняя энергия, скорость дрейфа, коэффициент диффузии, подвижность) и констант скоростей элементарных процессов при решении стационарного кинетического уравнения Больцмана в однокомпонентном приближении. <...> Ключевые слова: метан, ФРЭЭ, константа скорости, ионизация, диссоциация ВВЕДЕНИЕ Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма на основе СН4 находит применение для получения поли- и нанокристаллических алмазоподобных пленок, углеродных наноструктур, а также при травлении оксидов цинка, индия и олова, используемых в оптоэлектронных устройствах [1–3]. <...> Разработка и оптимизация плазменных технологий невозможна без понимания механизмов физико-химических процессов, формирующих стационарные параметры и состав плазмы. <...> Наиболее эффективным инструментом получения такой информации является моделирование плазмы. <...> Одним из основных факторов, определяющих достоверность результатов моделирования плазмы, является корректность набора процессов под действием электронного удара и выбора соответствующих сечений. <...> Целью данной работы являлось формирование набора сечений элементарных процессов для молекулы СН4, а также первичный анализ влияния электрофизических параметров системы на кинетику процессов при электронном ударе. <...> МЕТОДИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ Моделирование характеристик электронного газа проводилось в однокомпонентном приближении по нейтральным невозбужденным частицам. <...> Алгоритм моделирования базировался на решении стационарного кинетического уравнения <...>