УДК 538.958 ВЛИЯНИЕ ОТЖИГА НА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА И СТРУКТУРУ НАНОКОМПОЗИТНЫХ ПЛЕНОК ZnSe/Al2O3 ДЕДЮХИН А.А., ЗАКИРОВА Р.М., КОСТЕНКОВ Н.В., КРЫЛОВ П.Н., ФЕДОТОВА И.В. <...> Методом лазерного напыления с последующей термической обработкой получены нанокомпозитные пленки ZnSe/Al2O3. <...> Показано, что пропускание и ширина запрещенной зоны нанокомпозитных систем ZnSe/Al2O3 связаны с изменением структуры ZnSe, Al2O3, появлением фазы ZnSeO4, увеличением размеров кристаллитов и изменением шероховатости поверхности. <...> ВВЕДЕНИЕ В последнее время к квантовым точкам из полупроводников II-VI уделяется повышенное внимание благодаря проявлению новых свойств вследствие низкоразмерной структуры и многообещающего применения в оптоэлектронике: сине-зеленый и ИК лазеры, солнечные, фотовольтаические и фотоэлектрохимические элементы [1, 2]. <...> Нанопленочные полупроводниковые системы ZnSe-CdTe пригодны для применения в качестве материалов селективных сенсор-датчиков на микропримеси CO [3]. <...> Посредством контроля размеров нанокристаллов можно изменять оптические свойства полупроводника. <...> Отжиг усиливает объемную диффузию частей, приводя к фазовой сегрегации в форме наноразмерных частиц или кластеров. <...> Целью настоящей работы было исследование влияния отжига на оптические свойства и структуру нанокомпозитных пленок ZnSe/Al2O3, сформированных методом лазерного напыления. <...> МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Синтез нанокомпозитных пленок ZnSe/Al2O3 производили путем формирования многослойных систем ZnSe/Al2O3, которые затем были подвергнуты термической обработке. <...> Напыление пленочных систем проводили методом импульсного лазерного напыления на сверхвысоковакуумной установке [6] при давлении ~2·10–5 Па. <...> Для распыления мишеней ZnSe и Al2O3 использовали эксимерный лазер CL-7100 (длина волны излучения λ = 248 нм, частота импульсов – 15 Гц, длительность импульса – 20 нс). <...> Толщина слоев ZnSe составляла 4 нм, толщина слоев Al2O3 – 2 нм, толщина последнего верхнего слоя Al2O3 – 5 нм. <...> Спектры пропускания нанокомпозитных <...>