УДК 621.385.833 ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ МАКРОСКОПИЧЕСКОЙ ФОРМЫ ПЕРЕТРАВЛИВАЕМОЙ ШЕЙКИ ЗАГОТОВКИ СТМ-ЗОНДА НА ЕГО НАНОТОПОЛОГИЮ ТЮРИКОВ А.В., ШЕЛКОВНИКОВ Е.Ю., ГУЛЯЕВ П.В., ЖУЙКОВ Б.Л., ЛИПАНОВ С.И. <...> Рассмотрены вопросы влияния макроскопической формы шейки заготовки СТМ-зонда на образование атомарных нановыступов на его конце при изготовлении зондов методом химического травления. <...> Приведены результаты двухэтапного моделирования процесса разрыва шейки вольфрамовой заготовки методом динамики частиц при макроскопическом и атомном масштабах. <...> Показано, что наиболее приемлемой для получения атомного разрешения нанотопологией острия обладают заготовки СТМ-зондов с более тонкой шейкой ассиметричной формы. <...> ВВЕДЕНИЕ Важной и актуальной задачей в области сканирующей туннельной микроскопии является изучение процесса изготовления атомарно острых вольфрамовых зондирующих игл (ЗИ) методом химического травления [1, 2]. <...> Ее важность обусловлена тем, что на качество формируемых ЗИ существенно влияет множество факторов, обусловленных как протекающими химическими реакциями, так и физическими параметрами схемы травления. <...> Особенности формирования зонда с оптимальной макроскопической геометрической формой, влияющей на рабочие характеристики ЗИ, подробно исследовались в [3 – 5]. <...> Однако главной особенностью зондирующего острия сканирующего туннельного микроскопа (СТМ), обуславливающей атомное разрешение при исследовании поверхности образцов, является наличие на его конце атомарных нановыступов, способных сформировать туннельный ток между иглой и образцом. <...> Теоретически, принципы создания ЗИ с нановыступами на конце невозможно изучать методами гидродинамики, так как это было сделано для исследования формирования макроскопических характеристик иглы. <...> Идеальным методом для такого изучения является метод динамики частиц (МДЧ), предельная вариация которого (в атомном масштабе) носит название метода молекулярной <...>