52, № 4 УДК 53.087.92 + 681.7.064.64 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНОГО МЕТОДА ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЧНОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ УГЛОИЗМЕРИТЕЛЬНЫХ СТРУКТУР∗ В. П. Кирьянов, А. В. Кирьянов, В. В. Чуканов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: alexey@iae.nsk.su Рассмотрены особенности контроля метрологических параметров оптических шкал, лимбов или кодовых дисков. <...> Предложена концепция построения интеллектуального мехатронного модуля на основе аэростатического подшипника для высокопроизводительной углоизмерительной машины. <...> Положительный эффект достигнут за счёт применения дифференциального метода измерений, позволяющего выделить искажающий вклад, вносимый измерительной установкой, в результирующую погрешность контролируемых структур. <...> Ключевые слова: углоизмерительные структуры, дифференциальный метод контроля, датчики углового положения, аэростатический подшипник, углоизмерительная машина. <...> При изготовлении современного углоизмерительного оборудования (теодолитов, тахеометров, гониометров и т. д.) качество продукции повышается, если на 100 % реализован входной контроль метрологических параметров оптических шкал, лимбов или кодовых дисков, входящих в состав отсчётных систем приборов. <...> Процедура контроля таких изделий (далее углоизмерительные структуры (УИС)) имеет ряд особенностей по сравнению с контролем собранных датчиков углового положения (ДУП). <...> Не всякое отклонение значения угла поворота контролируемой УИС, регистрируемого с помощью измерительной установки (ИУ), от задаваемого может трактоваться как погрешность её изготовления. <...> Заметный вклад в различие регистрируемых значений вносится самой ИУ и, прежде всего, нестабильностью пространственного положения оси ротора её шпиндельного узла, на предметном столике которого размещается контролируемая структура. <...> Основным приёмом, обеспечивающим объективное оценивание точности контролируемых <...>