132 технологии Универсальная система лазерной обработки материалов электронной техники «МикроСЕТ» Сергей ГОРНЫЙ, к. т. н. <...> Optic@newlaser.ru Мировой арсенал лазерных технологических систем для прецизионной размерной обработки насчитывает сотни наименований. <...> Однако стандартные концепции, заложенные в основу конструкции таких систем, делают их коммерчески проигрышными на российском рынке. <...> Ниже представлена система, построенная на базе волоконного лазера (производства ООО «ИРЭ-ПОЛЮС» с длиной волны 1,05–1,07 мкм, длительностью импульса 100 нс, энергией 1 мДж и частотой до 100 кГц) и прецизионного сканера. <...> Введение Современные источники излучения лазерных технологических комплексов обеспечивают чрезвычайно высокую стабильность пространственно-временных характеристик излучения в широком диапазоне изменения энергетических характеристик. <...> Зарубежные компании, специализирующиеся на производстве лазерных технологических комплексов для обработки материалов электронной техники, в настоящее время в основном завершают переход на пико- и фемтосекундные источники [1–3], генерирующие в области третьей-четвертой гармоник основной частоты излучения иона Nd3+ . <...> Это позволяет существенно уменьшить зону термовлияния и размер пучка в области взаимодействия излучения с веществом, что суммарно приводит к повышению разрешения технологического процесса вплоть до субмикронного [3–4]. <...> Однако стоимость систем, построенных на базе перечисленных устройств, при наличии повышенных требований к точности, воспроизводимости и скорости позиционирования настолько велика, что их приобретение превращается в серьезную проблему даже для крупных государственных предприятий. <...> Применение высокоскоростных прецизионных гальванических сканаторов позволяет получить рекордные скорости позиционирования (десятки метров в секунду), субмикронную воспроизводимость угловой координаты в сочетании с относительно невысокой стоимостью <...>