УДК 539.26 И.Г. Лемеш, В.Н. Денисов, С.Ю. Мартюшов, С.Н. Поляков ЛАБОРАТОРНАЯ АВТОМАТИЗИРОВАННАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ СТРУКТУРЫ КРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА В РЕЖИМЕ РЕАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ (Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов) e-mail: ivan.lemesh@phystech.edu, spolyakov@phys.msu.ru Разработана лабораторная автоматизированная система распознавания ориентации кристаллов, определения углов разориентации поверхности относительно кристаллографических плоскостей в режиме реального времени. <...> Система разрабатывалась для работы с монокристаллами алмаза, однако она обладает достаточной общностью и пригодна для исследования любых монокристаллов, в том числе кристаллов со сложным профилем поверхности. <...> Высокая чувствительность системы позволяет проводить эксперименты с временным разрешением до 10 мс. <...> Ключевые слова: метод Лауэ, лауэграмма, эпиграмма, дифракция рентгеновских лучей ВВЕДЕНИЕ В дифрактометрии высокого разрешения и рентгеновской топографии при исследовании реальной структуры кристаллов, эпитаксиальных пленок и многослойных структур на предварительном этапе требуется установка кристалла в положение, соответствующее отражению от заданной системы кристаллографических плоскостей. <...> На практике для этой цели используются стандартные методы дифрактометрии, основанные на технике - и -сканирования в компланарной или некомпланарной геометрии брэгговской дифракции с регистрацией картины рассеяния (обычно с помощью сцинтилляционных детекторов) [1–2]. <...> При наличии углов отклонения поверхности относительно кристаллографических плоскостей такая процедура зачастую занимает довольно много времени. <...> Кроме того, для ряда кристаллов с низкой сингонией кристаллической решетки брэгговские углы, рассчитанные для определения отражений оказываются крайне близки по своему значению, что затрудняет однозначное определение ориентации поверхности образцов. <...> К таким кристаллам, в частности, относятся <...>