Естественные и технические науки, № 4, 2016 ЕСТЕСТВЕННЫЕ НАУКИ Химические науки Физическая химия Кольцов В.Б., доктор химических наук, профессор Ларионов Н.М., кандидат технических наук, профессор, зав. кафедрой Слесарев С.А., аспирант Баркинкоева Т. <...> РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ ГАЛЛИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЧИСТОТЫ Данная статья посвящена описанию физико-химических свойств галлия и его роли в современной микроэлектронике. <...> DEVELOPMENT OF TECHNOLOGY FOR SEMICONDUCTOR PURITY GALLIUM This article is devoted to the description of physical and chemical properties of gallium and its role in modern microelectronics. <...> The paper presents the modern methods of purification from impurities and gallium waste treatment. <...> The technological scheme of purification of gallium . <...> Галлий – один из основных базовых материалов полупроводниковой техники используемых, в настоящее время в электронной промышленности [1-3]. <...> Галлий представляет собой мягкий, хрупкий светло-серый с синеватым оттенком металл – IIIА подгруппы периодической системы Д.И. Менделеева [4] с атомным номером 31. <...> Параметр Некоторые физико-химические свойства галлия Ед. измерения Молекулярная масса Атомный радиус Плотность: твердый жидкий Температура плавления Температура кипения Кристаллическая решетка: а в с Значение 69,72 А г/см3 °С °С Д А А 5,907 6,095 29,79 2205 ромбическая 4,5167 4,5107 7,6448 1,39 Литература [4] [4] [4] [5] [5] [5] [4,5] [4,5] [4,5] материалов – соединений АШВУ, к важнейшим из которых относятся арсенид и фосфид галлия и твердые растворы на их основе (СаАsР, СаА1Аs, СаInР, АlInGаР и другие). <...> Объемы мирового производства монокристаллов арсенида галлия превышают 100 т/год, а ежегодные темпы прироста которого составляют 4 - 1 0% [6-12]. <...> Технологический процесс изготовления полупроводникового прибора характеризуется применением многочисленных операций [11,12], таких, как синтез и выращивание монокристалла с заданными электрофизическими параметрами, их калибровка, резка на пластины <...>