24 компоненты датчики Эволюция МЭМС-продуктов компании Analog Devices и современные инерциальные измерительные модули iSensor Юрий ПЕТРОПАВЛОВСКИЙ В статье представлен обзор МЭМС-датчиков компании Analog Devices, эволюционировавших от самых первых продуктов для систем автомобильной безопасности до современного поколения инерциальных модулей iSensor. <...> Richard Payne) группа инженеров отделения создавала технологию емкостных датчиков ускорения поверхностного типа, формируемых в едином технологическом процессе с узлами обработки сигналов полупроводниковых микросхем. <...> Датчики ускорения этого типа, в отличие от объемного травления, получаются методом поверхностной микрообработки, поэтому они позволяют детектировать ускорение по двум осям на поверхности. <...> Первый интегральный датчик ускорения ADXL50 (цифра 50 означает диапазон измеряемых ускорений ±50 g), чей прототип был продемонстрирован компанией в 1989 году, представлял собой конденсаторную систему, обкладки которой сформированы на подложке кристалла интегральной микросхемы в едином технологическом процессе с компонентами самой микросхемы. <...> 1 показана структура кристалла микросхемы ADXL50, размеры кристалла 33 мм, размеры датчика ускорения в центре кристалла 500625 мкм, микросхема выполнена в металлическом корпусе ТО-100, ось чувствительности лежит в плоскости, параллельной основанию микросхемы в направлении ключа (рис. <...> Микросхема ADXL50 без крышки одной ячейки датчика (всего 42 ячейки), при возникновении ускорения в направлении оси чувствительности подвижная инерциальная масса датчика, связанная с подвижными обкладками конденсаторной системы, отклоняется от исходного положения, в результате чего изменяются значения емкостей CS1, CS2. <...> Массовое производство акселерометра ADXL50 началось в 1991 году, его широко применяли в системах управления подушками безопасности автомобилей, защищающими водителя при авариях. <...> Стоимость существовавших прежде систем активации подушек <...>