Исследование методов модификации зондов для атомно-силовой микроскопии критических размеров осаждением углеродных нанотрубок (154,00 руб.)

НАНОТЕХНОЛОГИЯ NANOTECHNOLOGY УДК 621.38-022.532 Исследование методов модификации зондов для атомно-силовой микроскопии критических размеров осаждением углеродных нанотрубок О. <...> Г. Цуканова1 1Институт нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета (г. Таганрог) 2ЗАО «НТ-МДТ» (г. Москва) Investigation of Modification Methods of Probes for Atomic-Force Critical Dimension Microscopy by Deposition of Nanocarbon Nanotubes O.A. <...> Tsukanova1 1Southern Federal University, Institute of Nanotechnology, Electronics and Electronic Equipment Engineering, Taganrog 2NT-MDT, Moscow Представлены результаты экспериментальных исследований модификации зондов для атомно-силовой микроскопии критических размеров (Critical Dimension Atomic Force Microscopy – CD-AFM) осаждением углеродных нанотрубок (УНТ) для повышения точности определения шероховатости поверхности вертикальных стенок субмикронных структур. <...> Исследованы методы осаждения индивидуальной УНТ на острие зонда атомно-силового микроскопа (АСМ), основанные на механическом и электростатическом взаимодействиях между зондом и массивом вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ). <...> Показано, что при расстоянии между острием АСМ-зонда и массивом ВОУНТ 1 нм и приложении напряжения в диапазоне 2030 В, на острие осаждается индивидуальная углеродная нанотрубка. <...> На основании полученных результатов сформирован зонд с углеродной нанотрубкой на острие (УНТ-зонд) радиусом 7 нм и аспектным отношением 1:15. <...> Исследования УНТ-зонда показали, что его применение повышает разрешающую способность и достоверность измерений АСМ-методом по сравнению с коммерческим зондом, а также позволяет определять шероховатость вертикальных стенок высокоаспектных структур методом CD-AFM. <...> , А.С. Коломийцев и др. изготовления и восстановления специальных АСМ-зондов, в том числе зондов для CD-AFM, а также при разработке методик межоперационного экспресс-контроля параметров технологического процесса производства элементов микро- и наноэлектроники, микро- и наносистемной техники. <...> Ключевые слова: нанотехнологии <...>