УДК 586.36: 628.8 Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники А.С. Рябышенков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» System Analysis of Clean Rooms Functioning for Microelectronics A.S. <...> Ryabyshenkov National Research University of Electronic Technology Описаны основные концептуальные проблемы при проектировании и эксплуатации отечественной и зарубежной инфраструктуры чистых помещений высокотехнологических производств. <...> Разработана эффективная концепция технологической экологии микроэлектроники, направленная на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды системой кондиционирования воздуха. <...> Проведен детальный анализ многолетнего опыта эксплуатации чистых помещений различных классов. <...> Разработана и обоснована концепция технологической экологии микроэлектроники на основе системного анализа различных аспектов функционирования чистых помещений для микроэлектроники. <...> Ключевые слова: технологическая экология; микроэлектроника; внутрипроизводственная среда; чистые помещения; система кондиционирования воздуха; эффективность функционирования. <...> The basic conceptual problems in design and operation of domestic and foreign-tech infrastructure of the clean rooms industries have been described. <...> A detailed analysis of the long-term experience of operation of clean rooms of various classes has been conducted. <...> The concept of the environmental technology in microelectronics has been developed and proved based on a systematic analysis of the various aspects of clean rooms functioning for microelectronics. <...> Keywords: technological environments; microelectronics; IPLs environment clean rooms; air-conditioning system; the performance. <...> Попытки создания обобщенной концепции технологической экологии микроэлектроники, нацеленной главным образом на защиту предмета труда от негативного влияния внутрипроизводственной среды с помощью системы кондиционирования воздуха (СКВ), предпринимались и ранее. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 21 № 3 2016 Системный анализ функционирования чистых помещений для микроэлектроники вопросы решались в работах [3–5], посвященных расчету и выбору параметров технологического оборудования по критерию минимума привносимой дефектности. <...> В [6 <...>