КРАТКИЕ СООБЩЕНИЯ BRIEF REPORTS УДК 621.3.049.77.002 Локальное электрохимическое осаждение пермаллоя на кремниевые пластины с магниторезистивными наноструктурами С. <...> Амеличев2 1ООО «НПП «Технология»» (г. Москва) 2НПК «Технологический центр» (г. Москва) Local Electrochemical Deposition of Permalloy Films on Silicon Wafers with Magnetoresistance Nanostructures S.V. <...> Amelichev2 1JSC «NPP «Technology»», Moscow 2SMC «Technological Center», Moscow Представлены результаты исследований параметров пермаллоевых пленок, полученных методом электрохимического осаждения в локальные области, ограниченные фоторезистивной маской на металлизированной поверхности кремниевой пластины. <...> Получены экспериментальные зависимости магнитных параметров осажденного пермаллоя от времени выдержки электролита. <...> Показана возможность применения осажденных пленок в качестве экранов магнитного поля цифровых изоляторов с гальванической развязкой на основе магниторезистивных наноструктур. <...> The results of the study on the parameters of permalloy films, produced by the electrochemical deposition in the local areas, limited by the photoresist mask on metallic surface of silicon wafer, have been presented. <...> The experimental dependencies of magnetic parameters of the deposited permalloy on the electrolyte excerpt time have been obtained. <...> ЭЛЕКТРОНИКА Том 20 № 3 2015 313 Краткие сообщения Применение элементов из ферромагнитных материалов в составе микроэлектронных приборов может быть использовано для решения двух абсолютно противоположных задач. <...> Первая направлена на усиление магнитного поля в области расположения магниточувствительного элемента, а вторая на экранирование магнитного поля над элементами, которые не должны подвергаться его воздействию. <...> Для решения первой задачи используют концентраторы магнитного поля, а для решения второй – экраны магнитного поля. <...> В том и другом случае эффективность элементов будет зависеть от магнитных параметров ферромагнитных материалов. <...> Материал концентратора или экрана магнитного поля должен обеспечивать низкую коэрцитивную силу и высокую магнитную проницаемость. <...> Физические свойства пленок пермаллоя определяются методом <...>