Машиностроение и машиноведение Вестник Донского государственного технического университета МАШИНОСТРОЕНИЕ И МАШИНОВЕДЕНИЕ MACHINE BUILDING AND MACHINE SCIENCE УДК 53.08 DOI 10.12737/16066 Исследование механических и микрогеометрических характеристик покрытия TiN на подложке из стали 40Х, нанесенного методом ионно-плазменного напыления* Е. <...> Айзикович4 1,2,3,4 Донской государственный технический университет, г. Ростов-на-Дону, Российская Федерация Study on mechanical and microgeometric characteristics of ion-plasma deposited TiN coating on 40Cr steel substrate E. <...> Aizikovich4** 1,2,3,4 Don State Technical University, Rostov-on-Don, Russian Federation Проведено исследование покрытия из нитрида титана (TiN), нанесенного методом ионно-плазменного напыления на подготовленную поверхность образца стали 40Х. <...> Для измерения толщины покрытия часть поверхности закрывалась маской из медной фольги. <...> Свойства и характерные особенности микрорельефа поверхности образца до и после нанесения покрытия исследовались с помощью атомно-силовой микроскопии (АСМ). <...> Описана и применена методика определения толщины покрытия с высокой точностью на основе результатов АСМ сканирования переходной между подложкой и покрытием зоны на поверхности образца. <...> Вычисленная неопределенность измеренного значения толщины значительно меньше, чем при использовании других методов. <...> Методом инструментального индентирования измерены механические свойства покрытия; показана важность точного определения толщины для корректного измерения характеристик покрытия методом индентирования. <...> Ключевые слова: шероховатость, твердость, модуль Юнга, измерение толщины покрытия, инструментальное индентирование, сканирующая зондовая микроскопия. <...> The ion-plasma sprayed titanium nitride (TiN) coating on the prepared 40Cr steel substrate is investigated. <...> A part of the coating surface was covered by the copper foil mask to measure its thickness afterwards. <...> The properties and characteristics of the sample surface microtopography before and after coating deposition are studied by the atomic-force microscopy (AFM). <...> Mechanical properties of the coating are measured by the instrumental indentation method; the significance of an accurate determination of the correct thickness for <...>