124 УДК 681.586.5 МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ НА ОСНОВЕ ОПТИЧЕСКОГО ТУННЕЛЬНОГО ЭФФЕКТА∗ В. И. Бусурин, А. Т. Фам Московский авиационный институт, 125993, Москва, А-80, ГСП-3, Волоколамское шоссе, 4 E-mail: vbusurin@mai.ru Представлена возможность построения микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей на основе оптического туннельного эффекта. <...> Получены зависимости выходной оптической мощности и выходного напряжения от угловых скоростей. <...> Определён эффективный диапазон измерения угловых скоростей при обеспечении квазилинейности функции преобразования. <...> Рассмотрено влияние конструктивных параметров чувствительного элемента и температуры на характеристики преобразователя. <...> Одно из перспективных направлений разработок новых датчиков и преобразователей угловых скоростей—создание микроэлектромеханических систем (МЭМС), в том числе микрооптоэлектромеханических (МОЭМ) преобразователей на основе оптического туннельного эффекта (ОТЭ). <...> В последние годы широко распространяются МЭМС-датчики угловых скоростей, которые выполнены на основе ёмкостного метода измерения. <...> В результате отклонения инерциальной массы изменяется ёмкостное сопротивление между пластинами конденсатора, преобразуемое в электрическое напряжение, пропорциональное угловой скорости. <...> При этом минимальные зазоры между пластинами составляют порядка микрометра, а их максимальные значения — десятки микрометров, что требует повышенных напряжений возбуждения. <...> Общими недостатками большинства ёмкостныхМЭМС-датчиков являются возможность пробоя конденсаторов, возникающая при максимальных перемещениях чувствительного элемента (ЧЭ), что приводит к выходу таких приборов из строя, и нелинейность функции преобразования, сильно зависящая от глубины модуляции ёмкостного зазора [6]. <...> В. И. Бусурин, А. Т. Фам 125 Цель данной работы — устранение указанных недостатков за счёт обеспечения <...>