52, № 1 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.38.3; 53.082.62 ТЕПЛОВЫЕ ПРИ¨ ЕМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. <...> Иванов, Э. Г. Косцов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: kostsov@iae.nsk.su Разработан новый подход к построению теплового элемента многоэлементной матрицы на базе тонких пироэлектрических плёнок: элемент не теплоизолируется от подложки, не отделяется зазором от её поверхности и функционирует за счёт накопления заряда, генерируемого ИК-излучением, за время кадра. <...> Представлены экспериментальные исследования поведения пироэлектрического коэффициента в плёнках ниобата бария-стронция (BaxSr1−xNb2O6), который достигает значений до (1–2) · 10−3 Кл/м2. <...> Показано, что чувствительные элементы размером 12 Ч 12 мкм обладают в режиме накопления заряда удельной обнаружительной способностью выше 109 см · Гц0,5 · Вт−1. <...> Ключевые слова: инфракрасная техника, тепловые приёмники излучения, пироэлектрические плёнки, мегапиксельная матрица, пироэлектрический заряд, температуропроводность. <...> В последние годы достигнут большой прогресс в изготовлении в промышленных масштабах многоэлементных неохлаждаемых матриц тепловых приёмников на базе теплоизолированных чувствительных элементов, в первую очередь резистивных микроболометров. <...> Увеличение числа таких конструкций в матрице до 106 и более сопровождается серьёзными технологическими проблемами, связанными с необходимостью как соблюдения высокой С. Д. Иванов, Э. Г. Косцов 105 однородности параметров элементов, постоянного поддержания равновесия механических напряжений между слоями в каждом элементе, так и исключения деформаций микробалок. <...> Решение указанных вопросов в современных матрицах обеспечивают электронные процессоры, располагаемые в одном корпусе с фотоприёмной матрицей, применение специальных алгоритмов коррекции результатов наблюдения, а также настройка <...>