116 УДК 53.06 СПОСОБ УМЕНЬШЕНИЯ ЗАЗОРА МЕЖДУ ЧИПАМИ В МОЗАИЧНЫХ ФОТОПРИЁМНЫХ МОДУЛЯХ А. Р. <...> Николаева, 8 E-mail: novoselov@oesd.ru Предложен способ формирования краёв чипов в целях уменьшения зазора между чипами в мозаичных фотоприёмных модулях, чувствительных в инфракрасном спектральном диапазоне: формирование несимметричных скрайбовых канавок лазерным излучением, откол края поверхности чипа, уходящей под него, и последующая корректировка вертикальности края лазерным излучением. <...> Ключевые слова: мозаичные фотоприёмники, лазерное скрайбирование, фотопрёмники на гетероэпитаксиальных плёнках КРТ, фоточувствительные болометрические матрицы, кремниевые микросхемы. <...> Потребность в увеличении дальности действия и пространственного разрешения тепловизионных систем стимулирует изготовление большеформатных фотоприёмников инфракрасного спектрального диапазона. <...> Одним из известных способов их изготовления является использование мозаичных фотоприёмников (МФ), состоящих, например, из четырёх гибридных фотоприёмников (чипы с фоточувствительными элементами и мультиплексорами) форматом 1024Ч1024 и размером пиксела 27Ч27 мкм [1]. <...> Однако за счёт большой технической зоны стыковки гибридных фотоприёмников расстояние между краевыми фоточувствительными элементами соседних фотоприёмников может составить до 283 фоточувствительных элементов [1], что приводит к потере информации в изображении. <...> В работе [2] рассмотрен фотоприёмник, имеющий увеличенную геометрию краевых пикселов, закрывающих область стыковки с соседним фотоприёмником. <...> В работе [4] отмечено, что при изготовлении монолитных МФ на приборной пластине между соседними чипами, в которых отсутствуют зазоры для скрайбирования, из-за дефектности пластины может быть очень низкий выход годных. <...> При изготовленииМФ технология минимизации расстояний между краевыми пикселами соседних фотоприёмников является чрезвычайно важной. <...> В данной работе рассмотрен вариант <...>