Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 569784)
Консорциум Контекстум Информационная технология сбора цифрового контента
Уважаемые СТУДЕНТЫ и СОТРУДНИКИ ВУЗов, использующие нашу ЭБС. Рекомендуем использовать новую версию сайта.
Журнал структурной химии  / №6 2015

ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD) (300,00 руб.)

0   0
Первый авторПушкарёв
АвторыФайнер Н.И., Маурия К.К.
Страниц3
ID359873
АннотацияПленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3-гекса-метилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. Химический состав полученных пле-нок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. Фазовый состав пленок изу-чали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентге-новского пучка (GIXRD). Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют оди-наковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.
УДК547.245:541.64
Пушкарёв, Р.В. ИЗУЧЕНИЕ ФАЗОВОГО СОСТАВА ТОНКИХ ПЛЕНОК SiCxFey И SiCxNy Fez С ПОМОЩЬЮ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКЦИИ В ГЕОМЕТРИИ СКОЛЬЗЯЩЕГО ПАДЕНИЯ ПУЧКА (GIXRD) / Р.В. Пушкарёв, Н.И. Файнер, К.К. Маурия // Журнал структурной химии .— 2015 .— №6 .— С. 156-158 .— URL: https://rucont.ru/efd/359873 (дата обращения: 21.09.2021)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Пленки различного состава синтезированы с помощью метода химического осаждения из газовой фазы при пониженном давлении с использованием термического разложения следующих исходных газовых смесей: ферроцена Fe(C5H5)2 и гелия; ферроцена, трис(диэтиламино)силана [(C2H5)2N]3SiH (ТДЭАС) и гелия; ферроцена, 1,1,1,3,3,3-гекса-метилдисилазана [(CH3)3Si]2NH (ГМДС) и гелия. <...> Химический состав полученных пле-нок характеризовался методами ИК и КРС спектроскопии. <...> Фазовый состав пленок изу-чали с помощью рентгенофазового анализа в геометрии скользящего падения рентге-новского пучка (GIXRD). <...> Установлено, что пленки, выращенные из газовых смесей кремнийорганических соединений (ТДЭАС или ГМДС), ферроцена и гелия, имеют оди-наковый химический и фазовый состав SiCxNyFez, в то время как полученные из смеси ферроцена и гелия другой — SiCxFey.! <...>

Облако ключевых слов *


* - вычисляется автоматически