Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 634699)
Контекстум
.
Журнал структурной химии  / №6 2015

РЕНТГЕНОФАЗОВОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ h-BN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ СМЕСЕЙ БОРАЗИНА И АММИАКА ИЛИ ГЕЛИЯ (330,00 руб.)

0   0
Доступно в Google Play
Первый авторМеренков
АвторыКасаткин И.А., Косинова М.Л.
Страниц3
330,00р
ID359872
АннотацияМетодом рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча (GIXRD) проведено исследование пленок гексагонального нитрида бора (h-BN), полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из смесей боразина и аммиака или гелия. Впервые были получены дифракционные картины для вертикально ориентированных к подложке слоев нитрида бора. Осажденные пленки состоят из аморфной фа-зы и нанокристаллической фазы h-BN. Размер нанокристаллитов в пленках, полученных из смесей боразина (B3N3H6) как с аммиаком, так и с гелием, увеличивается с ростом температуры синтеза. Нанокристаллиты являются разноосными и имеют слоистую структуру с межплоскостным расстоянием ~0,35 нм.
УДК546.27:548.736:544.023.2
Меренков, И.С. РЕНТГЕНОФАЗОВОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЕРТИКАЛЬНО ОРИЕНТИРОВАННЫХ СЛОЕВ h-BN, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ СМЕСЕЙ БОРАЗИНА И АММИАКА ИЛИ ГЕЛИЯ / И.С. Меренков, И.А. Касаткин, М.Л. Косинова // Журнал структурной химии .— 2015 .— №6 .— С. 153-155 .— URL: https://rucont.ru/efd/359872 (дата обращения: 25.04.2024)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Методом рентгеновской дифракции в геометрии скользящего падения луча (GIXRD) проведено исследование пленок гексагонального нитрида бора (h-BN), полученных плазмохимическим осаждением из газовой фазы (PECVD) из смесей боразина и аммиака или гелия. <...> Впервые были получены дифракционные картины для вертикально ориентированных к подложке слоев нитрида бора. <...> Размер нанокристаллитов в пленках, полученных из смесей боразина (B3N3H6) как с аммиаком, так и с гелием, увеличивается с ростом температуры синтеза. <...>

Облако ключевых слов *

b3n3h6 gixrd p. pecvd впервые получены из смесей нитрида рентгенофазовое смесей температуры синтезы химии химии структурной
* - вычисляется автоматически
.