Tomasella E., Spinelle L., Bousquet A., Rebib F., Dubois M., Eypert C., Gaston J.P., Cellier J., Sauvage T. // Plasma Process. <...> Методом спектроскопии электронного парамагнитного резонанса исследованы парамаг-нитные центры в пленках SiCxNyHz, полученных плазмохимическим осаждением из па-ров гексаметилдисилазана. <...> Обнаружено, что в пленках присутствуют оборванные связи на атоме углерода, причем их концентрация значительно увеличивается с ростом темпе-ратуры осаждения. <...>