51, № 6 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 621.38.3; 53.082.62 ТЕПЛОВЫЕ ПРИ¨ ЕМНИКИ НЕОХЛАЖДАЕМЫХ МНОГОРАЗМЕРНЫХ ТЕПЛОВИЗИОННЫХ МАТРИЦ. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: kostsov@iae.nsk.su Рассматривается современное состояние элементной базы неохлаждаемых тепловизионных матриц, основанных на теплоизоляции их чувствительных элементов и на накоплении за время кадра тепла в объёме элемента. <...> Описываются особенности функционирования и конструкции как резистивных микроболометров, так и пироэлектрических элементов, их характерные параметры. <...> Рассматриваются перспективы улучшения параметров теплоизолированных чувствительных элементов мегапиксельных матриц. <...> Отмечается, что основным фактором, ограничивающим дальнейшее улучшение параметров пикселей в тепловизионных матрицах и увеличение размера последних, является величина теплового сопротивления между чувствительным элементом и подложкой. <...> При современном уровне технологии величина теплового сопротивления практически достигла предельных значений и для дальнейшего повышения чувствительности элементов и их быстродействия, увеличения размеров мегапиксельных неохлаждаемых ИК-матриц требуется другой физический принцип функционирования ИК-приёмников, исключающий необходимость их теплоизоляции. <...> Принцип, основанный на использовании пироэлектрических эффектов, будет рассмотрен в следующей работе. <...> Ключевые слова: инфракрасная техника, тепловые приёмники излучения, теплоизоляция, микроболометры, пироэлектричество, тепловое сопротивление, мегапиксельная матрица, тепловизор. <...> Неохлаждаемые тепловизионные устройства получили широкое распространение в различных областях науки и техники. <...> При решении задач по обнаружению и визуализации удалённых слабоконтрастных объектов с использованием неохлаждаемых тепловизионных устройств на первый план выводятся параметры элементов фотоприёмной матрицы: размеры, пороговая чувствительность <...>