51, № 6 УДК 53.082.539 ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЙ МЕТОД ИЗГОТОВЛЕНИЯ СОГЛАСОВАННОЙ МЕТАЛЛ-ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ СТРУКТУРЫ ДЛЯ СЕНСОРА НА ОСНОВЕ ЭФФЕКТА НАРУШЕНИЯ ПОЛНОГО ВНУТРЕННЕГО ОТРАЖЕНИЯ∗ В. С. Терентьев, В. А. Симонов Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: terentyev@iae.nsk.su Представлен экспериментальный метод изготовления сенсора и оптимизации его характеристик на основе металл-диэлектрической структуры (Al + ZnS). <...> Исследован коэффициент отражения света (p-поляризация) от слоя алюминия в зависимости от его толщины при разных углах падения на длине волны 532 нм. <...> На основании расчётов, которые качественно совпадают с экспериментальными результатами, изготовлена структура, состоящая из согласованных слоёв алюминия и сульфида цинка и имеющая повышенное угловое разрешение по сравнению с алюминиевой плёнкой без диэлектрического покрытия. <...> Оценочный предел детектирования сенсора на основе данной структуры при угловых измерениях составил 2,6 · 10−5 RIU (единица коэффициента преломления). <...> Ключевые слова: нарушение полного внутреннего отражения, тонкая металлическая плёнка, металл-диэлектрическая интерференционная структура, сенсорика коэффициента преломления. <...> Исследования свойств сенсоров на основе эффекта нарушения полного внутреннего отражения (НПВО) интенсивно ведутся в последнее время [1]. <...> Характеристики данных слоёв подбираются так, чтобы сенсор имел максимальные разрешающую способность и чувствительность к изменению коэффициента преломления среды-аналита, в качестве которой используются золото и серебро, обладающие наилучшими параметрами среди металлов [2]. <...> В данной работе проводится исследование сенсора на основе эффекта НПВО в схеме Кречмана (рис. <...> В ней применяются прямоугольная призма и подложка с металл-диэлектрическим покрытием. <...> Подложка может иметь отличный от призмы коэффициент преломления nп = nпр. <...> Схема Кречмана: a — с металлической плёнкой <...>