120 УДК 621.317.73 АНАЛИЗ ПОГРЕШНОСТИ ИЗМЕРЕНИЯ ЁМКОСТИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ВЫСОКОЙ ЧАСТОТЕ В. Н. <...> Вьюхин Институт автоматики и электрометрии СО РАН, 630090, г. Новосибирск, просп. <...> Академика Коптюга, 1 E-mail: vvn@iae.nsk.su Выполнены теоретические и экспериментальные исследования погрешности измерения ёмкости полупроводниковых структур на высокой частоте измерительной цепью на основе интегратора. <...> Ключевые слова: измерение ёмкости полупроводниковых структур, ошибки измерения, тестовый сигнал, измерительная цепь, ёмкостный делитель, интегратор. <...> Использование интегратора для измерения высокочастотной ёмкости полупроводниковых МДП-структур позволяет получить высокий коэффициент усиления тестового сигнала и, следовательно, существенно увеличить чувствительность цепи. <...> Однако выполненные эксперименты показали, что с ростом коэффициента усиления цепи возрастает погрешность измерения, что не отражено в [1]. <...> Для измерения ёмкости МДП-структур используется два вида измерительных цепей. <...> Измеряемая структура моделируется ёмкостью Cx и генератором тока Ix (рис. <...> На один вход структуры подаются смещение и тестовый сигнал измерения ёмкости, имеющий амплитуду Vt и частоту ωt = 2πft. Ёмкостный делитель образован измеряемой ёмкостью Cx и образцовым конденсатором C0. <...> Выходной сигнал ёмкостного делителя считывается высокоомным операционным усилителем (ОУ). <...> Поcтоянный ток Ix компенсируется внешней цепью [2]. <...> Выходной сигнал V0t и измеряемая ёмкость Cx определяются как V0t = VtCx/(C0 +Cx); Cx = C0V0t/(Vt −V0t), (1) где V0t — составляющая выходного сигнала с частотой тестового сигнала, которая далее измеряется цепью на основе синхронного детектора. <...> Поскольку ёмкость находится на переменном токе, статические погрешности операционного усилителя — смещение нуля по напряжению и току — не вызывают дополнительной погрешности. <...> Кажущееся увеличение чувствительности за счёт повышения амплитуды тестового сигнала реализовать невозможно, так <...>