51, № 4 НАНОТЕХНОЛОГИИ В ОПТИКЕ И ЭЛЕКТРОНИКЕ УДК 538.971 + 543.428 МОДЕЛИРОВАНИЕ СЕЧЕНИЯ НЕУПРУГОГО РАССЕЯНИЯ ЭЛЕКТРОНОВ В СЛОИСТЫХ СТРУКТУРАХ НА ОСНОВЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ФУНКЦИЙ И ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ СПЕКТРОВ ПЛЁНКИ И ПОДЛОЖКИ А. С. <...> Михлин3 1Сибирский государственный аэрокосмический университет им. академика М. Ф. Решетн¨ ева, 660014, г. Красноярск, просп. им. газеты «Красноярский рабочий», 31 2Институт физики полупроводников им. <...> Академика Лаврентьева, 13 3Институт химии и химической технологии СО РАН, 660036, г. Красноярск, Академгородок, 50, стр. <...> 24 E-mail: aparshin@sibsau.ru Представлена методика моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в слоистых структурах из экспериментальных спектров сечения неупругого рассеяния отражённых электронов компонентов структур на основе теоретической модели Юберо — Тоугаарда сечения неупругого рассеяния в однородной среде и её обобщения на случай слоистых структур. <...> Методика апробирована на примере исследования спектров сечения неупругого рассеяния в двухслойной структуре SiO2/Si. <...> Ключевые слова: электронная спектроскопия, сечение неупругого рассеяния отражённых электронов, длина свободного пробега электрона. <...> Спектроскопия сечения неупругого рассеяния является перспективным методом исследования свойств поверхности твердотельных структур. <...> Тестирование поверхности электронами с различными энергиями, используемое в спектроскопии сечения неупругого рассеяния, позволяет получать сигнал с разных глубин в зависимости от длины неупругого свободного пробега электронов, которая определяется выбором энергии первичных электронов. <...> В [1, 2] показана возможность применения спектроскопии сечения неупругого рассеяния для исследования двухслойных и трёхслойных материалов, представляющих собой смесь нескольких компонентов. <...> Алгоритм теоретического исследования слоистых структур в этих работах состоит из следующих этапов: нахождение из экспериментальных спектров потерь <...>