51, № 3 ОПТИЧЕСКИЕ ИНФОРМАЦИОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ УДК 535.411.854 КВАЗИГЕТЕРОДИННЫЙ МЕТОД ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРЕНИЙ∗ В. И. Гужов, С. П. Ильиных, И. А. Сажин, Е. Н. Денежкин, Е. С. Кабак, Д. С. Хайдуков Новосибирский государственный технический университет, 630073, г. Новосибирск, просп. <...> , 20 E-mail: vig@edu.nstu.ru Предложен метод измерения разности фаз двух интерферирующих волновых фронтов на основе анализа траекторий, образованных значениями интенсивности пар точек в серии интерферограмм с различными фазовыми сдвигами. <...> В данном методе не требуется априорного знания фактических значений фазовых сдвигов. <...> При анализе интерференционных картин методом пошагового фазового сдвига [1–5] неточное задание величины внесённых фазовых сдвигов приводит к возникновению ошибки измерения разности фаз между предметным и опорным волновыми фронтами. <...> Поэтому в настоящее время большое внимание уделяется анализу погрешностей измерений, обусловленных неточностью задания фазовых сдвигов [6–11]. <...> Первый подход требует калибровки устройства внесения фазовых сдвигов [11], что приводит к усложнению интерферометрической системы. <...> Второй подход использует самокалибрующиеся алгоритмы измерения набега фаз интерферограмм, однако при этом значительно снижается эффективность вычислительных алгоритмов [10–12]. <...> Целью предлагаемой работы является создание метода измерения набега фаз, который не требует априорных сведений о параметрах вносимых фазовых сдвигов. <...> Суть метода заключается в измерении разности фаз между произвольно выбираемой опорной точкой и пространственными точками интерферограммы (набег фазы). <...> 1 точка A — опорная, относительно неё вычисляется набег фазы в точке B. <...> Все остальные значения набега фаз в других точках интерферограммы измеряются относительно той же опорной точки. <...> Выбор той или иной опорной точки влияет на постоянное смещение набега фазы во всех точках интерферограммы, которое не является принципиальным при измерении <...>