51, № 1 ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРО- И ОПТОЭЛЕКТРОНИКИ УДК 544.638.2 МИКРОФЛЮИДНЫЙ ЭЛЕКТРОГЕНЕРАТОР НА ОСНОВЕ КРЕМНИЕВОЙ МИКРОКАНАЛЬНОЙ МЕМБРАНЫ∗ М. А. Паращенко, Н. С. Филиппов, В. В. Кириенко Институт физики полупроводников им. <...> В экспериментах с использованием деионизованной воды определены напряжение и ток, создаваемые генератором, а также мощность, выделяемая на нагрузочном сопротивлении в зависимости от его величины при прохождении жидкости через мембрану. <...> Продемонстрирована возможность применения кремниевых мембран в качестве рабочего элемента микрофлюидного электрогенератора. <...> Предполагается, что при тиражировании устройства могут быть изготовлены генераторы, пригодные для питания маломощных электроприборов. <...> Ключевые слова: макропористый кремний, микроканальная мембрана, потенциал течения, микрофлюидная система, микрофлюидный электрогенератор. <...> В последние годы наблюдается стремительное развитие микро- и нанофлюидных систем, применяемых в различных областях техники, а также в биологических и медицинских исследованиях. <...> На роль такого материала хорошо подходит микро- и наноканальный кремний — высокоструктурированная форма пористого кремния. <...> Отработанная технология получения этого материала позволяет изготавливать совершенные матрицы микроканалов (мембраны) различной длины и поперечного сечения с их последующим применением в сенсорных структурах [1–4], микрореакторах [5], электроосмотических микронасосах [6–8], молекулярных и клеточных фильтрах [9, 10], а также в концентраторах микро- и наноразмерных объектов [11, 12]. <...> Помимо использования в перечисленных выше устройствах микроканальный кремний является перспективным материалом для создания компактных микрофлюидных электрогенераторов, работающих на основе электрокинетических эффектов, а именно эффекта Квинке (возникновение разности потенциалов при движении жидкости относительно неподвижной твёрдой поверхности <...>