Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52… УДК 621.793.182 Монтаж и запуск жидкофазного магнетрона НМСА-52 на установке МВТУ-11-1 © М.В. Макарова, М.А. Мартыненко, А.С. Бабурин, К.М. Моисеев МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрена смоделированная в программном комплексе SolidWorks магнитная система жидкофазного магнетрона НМСА-52, смонтированного и запущенного на установке МВТУ-11-1. <...> Ряд экспериментов по запуску магнетрона проведен с различными вариациями мишени и разными условиями горения разряда. <...> Определены лучшие режимы работы при запуске с тиглем и мишенью для жидкофазного распыления для новой магнитной системы. <...> Анализ полученных результатов подтвердил необходимость продолжения работы по выведению магнетрона на жидкофазный режим с использованием блока увеличенной мощности. <...> Ключевые слова: жидкофазный магнетрон, моделирование магнитного поля, магнитная система, ионное распыление. <...> Один из способов нанесения тонких пленок — метод ионного распыления в магнетронных системах с жидкой мишенью. <...> Этот метод отличается высокой скоростью осаждения, большой энергетической эффективностью, а также высокими показателями чистоты и адгезии. <...> Скорость осаждения в данном случае складывается из двух составляющих: испарения и распыления [1–3]. <...> Установлено, что для достижения стабильного режима работы магнетрона с жидкой мишенью необходимо использовать магниты с большей индукцией магнитного поля в магнитной системе [4, 5]. <...> Для реализации данного метода нанесения на вакуумной установке МВТУ-11-1 лабораторией кафедры «Электронные технологии в машиностроении» МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана совместно с ОАО «НИИТМ» разработан и изготовлен новый жидкофазный магнетрон НМСА-52, в котором в установленный на керамических прокладках тигель загружается мишень толщиной 3,75 мм (рис. <...> Цель работы заключается в том, чтобы смонтировать магнетрон, отработать режимы зажигания разряда и обеспечить стабильное функционирование <...>