1 УДК 54.057: 544.536 ИСПОЛЬЗОВАНИЕ ПИРОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ПРИЕМНИКА ДЛЯ ИЗУЧЕНИЯ ПРОЦЕССА СИНТЕЗА ПЛЕНОК НИТРИДА УГЛЕРОДА МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ В.Н. <...> Варакин, Ю.Я. Кузяков (кафедра лазерной химии; e-mail: varakin@laser.chem.msu.ru) Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...> Ключевые слова: нитрид углерода, синтез пленок, импульсное лазерное осаждение, пироэлектрический приемник. <...> Для синтеза использовали разнообразные методы, в том числе имплантацию ионов азота в углеродную матрицу, магнетронное распыление графита в азоте, химические реакции, инициированные лазерным излучением в смесях метана (или этилена) с азотом (или аммиаком) и т.п. <...> . Одним из наиболее эффективных методов синтеза азот-углеродных пленок стал метод импульсного лазерного осаждения (ИЛО), который заключается в лазерной абляции графита в азоте при давлении 1–100 Па с последующим осаждением продуктов газофазных химических реакций на подложку. <...> Основная особенность ИЛО – создание импульсного потока частиц с большими плотностями и скоростями, при этом в его состав входят реакционно-активные частицы: электронно-возбужденные атомы и молекулы, а также ионы. <...> Это существенно повышает вероятность осуществления химических реакций с окружающим газом. <...> Процесс создания пленки методом ИЛО можно разделить на три этапа: 1) абляция твердофазной мишени мощным лазерным излучением, приводящая к фрагментации вплоть до атомов, ионизации и формированию импульсного потока частиц (светящаяся часть которого называется лазерным факелом); 2 <...>