16 УДК 333.6.6.011 УРАВНЕНИЯ ПОСТУПАТЕЛЬНОЙ РЕЛАКСАЦИИ В СТАЦИОНАРНОЙ СВЕРХЗВУКОВОЙ СТРУЕ СМЕСИ ОДНОАТОМНЫХ ГАЗОВ А.В. <...> Лазарев, Н.Н. Застенкер, Д.Н. Трубников (кафедра физической химии; e-mail: tdn@phys.chem.msu.ru) На основе кинетического уравнения Больцмана в приближении эллипсоидальной функции распределения получена система уравнений, учитывающая двухмерный характер течения вблизи сопла, для параметров сверхзвуковой стационарной струи, истекающей в вакуум. <...> Ключевые слова: стационарная сверхзвуковая струя, уравнение Больцмана, метод моментов Грэда, поступательная релаксация. <...> К практическому применению стационарных струй следует отнести разгонку молекулярных пучков [1], разделение различающихся по массам компонентов газообразной смеси (например, изотопов [2, 3] и аэрозолей [4, 5]) и напыление пленок органических полупроводниковых материалов [6–8]. <...> К основным направлениям фундаментальных исследований можно отнести изучение релаксации поступательной [9–11] и внутренней [12–14] энергии в смесях газов, химической релаксации [15], конденсации и кластерообразования [16, 17]. <...> В физической основе всех этих явлений лежат специфические для расширения струй смесей газов неравновесные процессы (обмен импульсом и энергией между частицами разного сорта), приводящие к “скольжению” скоростей и разности температур компонентов смеси. <...> Строгое теоретическое описание этих явлений возможно на основе кинетического подхода (например, на основе системы уравнений Больцмана для смеси). <...> Решение обычными методами (разложение по малым параметрам, моментные методы и т.д.) затруднено из-за появления большого числа варьируемых параметров задачи (масса компонентов, состав смеси, сечение взаимодействия частиц компонентов между собой и друг с другом). <...> Кроме того, появляется множество методов решения, связанных с разложением по этим параметрам в предельных случаях: гиперзвуковое приближение [9, 18– 21], компоненты с сильно различающимися <...>