Применение ЭВМ при моделировании процессов термического напыления в вакууме (90,00 руб.)

Федеральное агентство по образованию Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Казанский государственный технологический университет» ПРИМЕНЕНИЕ ЭВМ ПРИ МОДЕЛИРОВАНИИ ПРОЦЕССОВ ТЕРМИЧЕСКОГО НАПЫЛЕНИЯ В ВАКУУМЕ Методические указания к лабораторным работам Казань КГТУ 2008 УДК 621.52 Составители: доц. <...> Т.Г. Булатова Применение ЭВМ при моделировании процессов термического напыления в вакууме: методические указания к лабораторным работам / сост. <...> Предназначены для студентов, обучающихся по специальности «Вакуумная и компрессорная техника физических установок» (15080165) очной и очно-заочной форм обучения. <...> Подготовлены на кафедре вакуумной техники электрофизических установок. <...> 3 Тема 1 ЗАКОНОМЕРНОСТИ ИСПАРЕНИЯ И КОНДЕНСАЦИИ МЕТАЛЛОВ В ВАКУУМЕ Процесс получения плёнок и покрытий методом испарения и конденсации в вакууме состоит из двух этапов: испарения вещества в вакууме и последующей конденсации паров на подложке. <...> Испарение различных материалов в вакууме, в том числе и металлов, происходит при нагревании до температуры плавления и испарения (сублимации), либо при распылении (методы катодного и магнетронного распыления). <...> Металлы можно нагревать резистивным методом (испарители прямонакального и косвенного нагрева), электронным лучом, электрической дугой, токами высокой частоты. <...> Способы нагрева, определяющие внутрикамерных устройств конструкции промышленных соответствующих вакуумных установок, детально описаны в инструкции по эксплуатации установок. <...> Большая часть металлов при нагреве переходит в паровую фазу через жидкое состояние, т.е. сначала они плавятся, а затем испаряются. <...> Характер распределения испаряемого вещества в пространстве над испарителем определяется двумя основными параметрами: рабочим давлением в вакуумной камере и плотностью потока испаряемых атомов и молекул. <...> Если давление паров испаряемого вещества (металла) при температуре <...>