Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ОПТИМИЗАЦИЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ УСТРОЙСТВ СВЧ Допущено Учебно-методическим объединением вузов по университетскому политехническому образованию в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210601 «Радиоэлектронные системы и комплексы» Москва 2014 УДК 681.2 ББК 34.9 Т38 Издание доступно в электронном виде на портале e-book.bmstu.ru по адресу: http://ebooks.bmstu.ru/catalog/192/book105.html Факультет «Радиоэлектроника и лазерная техника» Кафедра «Технологии приборостроения» Авторы: А.Г. Гудков, С.А. Мешков, М.А. Синельщикова, Е.А. Скороходов Рецензенты: зам. начальника отдела ОАО «Концерн Вега» канд. техн. наук А.В. Королев; Т38 устройств СВЧ : учеб. пособие / А. Г. Гудков, С. А. Мешков, М. А. Синельщикова, Е. А. Скороходов. <...> ISBN 978-5-7038-3928-7 Содержит основы теории технологической оптимизации микроэлектронных устройств СВЧ, систематизированные процедуры статистического моделирования, проведения оптимизации, схемы процессов технологической оптимизации, примеры их выполнения с указанием последовательности использования расчетных зависимостей, а также методические рекомендации и необходимую справочную информацию. <...> Заданные параметры устройств СВЧ традиционно обеспечиваются увеличением точности технологического процесса изготовления и введением настроечно-регулировочных работ. <...> Настоящее учебное пособие охватывает методы технологической оптимизации микроэлектронных устройств (МЭУ) СВЧ, позволяющие обеспечить высокие требования к электрическим параметрам и минимизировать настроечно-регулировочные работы в процессе изготовления. <...> 6 Для дискретных фазовращателей одним из важнейших факторов является воспроизводимость параметров. <...> При использовании этих устройств в ФАР требования к точности дифференциального фазового сдвига очень высоки, что обусловлено ростом боковых лепестков диаграммы <...>
Технологическая_оптимизация_микроэлектронных_устройств_СВЧ.pdf
УДК 681.2
ББК 34.9
Т38
Издание доступно в электронном виде на портале e-book.bmstu.ru
по адресу: http://ebooks.bmstu.ru/catalog/192/book105.html
Факультет «Радиоэлектроника и лазерная техника»
Кафедра «Технологии приборостроения»
Авторы: А.Г. Гудков, С.А. Мешков,
М.А. Синельщикова, Е.А. Скороходов
Рецензенты: зам. начальника отдела ОАО «Концерн Вега»
канд. техн. наук А.В. Королев;
Т38
устройств СВЧ : учеб. пособие / А. Г. Гудков, С. А. Мешков,
М. А. Синельщикова, Е. А. Скороходов. — М. : Изд-во
МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2014. — 44, [4] с. : ил.
ISBN 978-5-7038-3928-7
Содержит основы теории технологической оптимизации микроэлектронных
устройств СВЧ, систематизированные процедуры
статистического моделирования, проведения оптимизации, схемы
процессов технологической оптимизации, примеры их выполнения
с указанием последовательности использования расчетных зависимостей,
а также методические рекомендации и необходимую
справочную информацию.
Для студентов, изучающих конструкторско-технологические
проблемы микроэлектронных средств.
УДК 681.2
ББК 34.9
Технологическая
канд. техн. наук, доцент В.В. Маркелов
оптимизация
микроэлектронных
ISBN 978-5-7038-3928-7
© МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
© Оформление. Издательство
МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2014
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение ............................................................................................. 3
1. Особенности микроэлектронных устройств СВЧ для радиолокационных
станций.................................................................... 5
2. Основы теории технологической оптимизации микроэлектронных
устройств СВЧ ........................................................ 7
2.1. Постановка задачи технологической оптимизации
МЭУ СВЧ ................................................................................ 7
2.2. Анализ вероятности выхода годных МЭУ СВЧ .................. 15
2.3. Методы технологической оптимизации МЭУ СВЧ ............ 27
3. Технологическая оптимизация дискретных фазовращателей
................................................................................................ 34
Литература .......................................................................................... 44
45
Стр.45