Оптическая система интерферометра для контроля формы выпуклых сферических…
УДК 531.715.1
Оптическая система интерферометра для контроля
формы выпуклых сферических поверхностей
большого диаметра на базе вогнутого
сферического зеркала и зеркала Манжена
© Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Предложена новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. <...> Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из стационарного сферического зеркала диаметром 1 400 мм
и шести сменных зеркал Манжена, диаметры которых лежат в диапазоне значений 20…150 мм. <...> Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе
лучей не превышает 0,04 длины волны He–Ne-лазера. <...> Эталонный волновой фронт
образуется при отражении светового пучка от вогнутой сферической поверхности зеркала Манжена. <...> Ключевые слова: интерферометр, производственный контроль, форма поверхности, оптическая поверхность, сферическая поверхность, большой диаметр. <...> В работе [1] предложена оптическая система интерферометра,
предназначенного для контроля формы выпуклых сферических поверхностей в процессе их производства. <...> Это обеспечивает бесконтактный контроль формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей оптических деталей без их снятия с планшайбы
станка. <...> Эксплуатационным недостатком предложенного интерферометра
является значительное экранирование центральной зоны контролируемой поверхности элементами осветительно-приемной части интерферометра. <...> Цель данной работы — разработка новой оптической системы
интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических поверхностей в процессе их производства. <...> Новый интерферометр позволяет значительно расширить диапазон типоразмеров
контролируемых за один прием поверхностей по сравнению с диапа1 <...> Н.Л. Лазарева <...>