Оптическая система двухдиапазонного интерферометра для контроля формы…
УДК 531.715.1
Оптическая система двухдиапазонного интерферометра
для контроля формы выпуклых сферических
поверхностей диаметром до 600 мм
© Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В. Рожков
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Предложена принципиально новая оптическая система двухдиапазонного интерферометра для бесконтактного контроля формы выпуклых сферических поверхностей диаметром до 600 мм. <...> В качестве объектива, формирующего сферический
рабочий волновой фронт, используется крупногабаритная линза, одна из поверхностей которой асферическая. <...> Для расширения диапазона контролируемых поверхностей эта линза поворачивается вокруг вертикальной оси; при этом вносимая
линзой волновая аберрация не превышает 0,005 длины волны He-Ne-лазера. <...> Эталонный сферический волновой фронт формируется лучами, отраженными от выпуклой поверхности менисковой линзы, которая совместно куб-призмой образует
оптическую систему, полностью исправленную на сферическую аберрацию. <...> Одна из актуальных проблем оптического приборостроения заключается в разработке новой аппаратуры для контроля формы выпуклых поверхностей крупногабаритных оптических деталей. <...> Допустимые местные, зональные и астигматические погрешности форм поверхностей крупногабаритных линз
составляют величины порядка 0,1…0,3 интерференционной полосы. <...> Поэтому аттестацию формы таких поверхностей следует проводить
за один прием. <...> Бесконтактный контроль формы выпуклых сфер диаметром до
600 мм за один прием может обеспечить двухдиапазонный интерферометр ДВИН-600, оптическая система которого описана в работе <...> Однако его применение затруднено ввиду громоздкой центральной линзовой системы, являющейся ключевым элементом этого
устройства. <...> Эталонные поверхности интерферометра ДВИН-600 принадлежат двум крайним линзам центральной
1 <...> Н.Л. Лазарева, Д.Т. Пуряев, О.В.Рожков
линзовой системы, поэтому их <...>