УДК 543.271;533.5.08
Демпфер на основе магнитореологического
эластомера для активной виброизоляции
нанотехнологичекого оборудования
© В.П. Михайлов, И.К. Зобов, А.С. Селиваненко
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Приведена оценка демпфирующих свойств магнитореологических (МР) эластомеров в условиях воздействия на них магнитного поля. <...> Представлены анализ системы полуактивной виброизоляции и возможность регулировки вязко-упругих
свойств демпфера. <...> Исследована эффективность поглощения энергии колебаний
МР-эластомерами с использованием полученных зависимостей механического гистерезиса. <...> Представлены результаты экспериментальных исследований активного
МР-демпфера на основе МР-эластомера. <...> Показана возможность регулировки коэффициента передачи и жесткости в полуактивном режиме работы МР-демпфера. <...> Получена зависимость индукции от напряженности магнитного поля в рабочем
зазоре МР-демпфера. <...> Показано использование ПИД регулирования, которое позволяет увеличить точность позиционирования и плавность перемещения, уменьшить
время переходного процесса. <...> Вибрации межэтажных перекрытий, на которых устанавливается прецизионное оборудование, имеют, как правило, широкий спектр частот [5]. <...> Наиболее интенсивные колебания перекрытий в цехах машиностроительных предприятий
происходят на частотах от 4 до 30 Гц. <...> Максимальные колебания перекрытий в лабораториях исследовательских корпусов на высоких этажах происходят на
частотах от 10 до 20 Гц с амплитудой колебаний в вертикальном направлении от 4 до 4,7 мкм, в горизонтальном — от 3 до 3,5 мкм [5]. <...> В настоящее время применяются различные типы виброизолирующих устройств: пьезоэлектрические, электромагнитные, гидравлические, пневматические и т. д. <...> В.П. Михайлов, И.К. Зобов, А.С. Селиваненко
активные, в зависимости от того, подводится к ним дополнительная
внешняя энергия для уменьшения амплитуды колебаний или нет. <...> Основным параметром, характеризующим виброизолирующую <...>