УДК 531.715.1
Оптическая система интерферометра для измерения
и контроля формы выпуклых сферических поверхностей
большого диаметра <...> Предложена принципиально новая оптическая система лазерного интерферометра для бесконтактного контроля формы крупногабаритных выпуклых сферических поверхностей без снятия с планшайбы станка. <...> Рабочий волновой фронт формируется объективом, состоящим из
стационарного сферического зеркала диаметром 1 200 мм и четырех
сменных эталон-компенсаторов, диаметры которых составляют менее
120 мм. <...> Волновая аберрация объектива при автоколлимационном ходе
лучей не превышает 0,07 длины волны He—Ne лазера. <...> Оптические предприятия России серийно выпускают крупногабаритные объективы, состоящие из множества линз диаметром свыше 200 мм. <...> Например, допустимые местные, зональные и астигматические погрешности в долях интерференционной полосы составляют порядка 0,1…0,3. <...> Известно, что все существующие интерферометры для контроля
формы выпуклых сферических поверхностей, содержат оптический
элемент, который создает сходящийся гомоцентрический пучок лучей,
падающих по нормалям на контролируемую поверхность. <...> Во всех случаях для создания сходящегося
гомоцентрического пучка лучей используются фокусирующие объективы, исправленные на сферическую аберрацию. <...> Увеличение диаметров
контролируемых поверхностей влечет за собой увеличение диаметра и
усложнение конструкции фокусирующего объектива, как это имеет
место в интерферометре ДВИН-600. <...> Его фокусирующий объектив
(названный центральной линзовой системой) состоит из четырех линз
диаметром 600 мм. <...> Поэтому
ДВИН-600 не применяется для контроля выпуклых сферических поверхностей деталей, расположенных на планшайбе станка. <...> Диаметр пробного стекла
не может превышать 220 мм, поэтому в большинстве случаев пробное стекло существенно меньше диаметра контролируемой поверхности. <...> Для облегчения контроля применяют интерферометр ЮС-170, который предназначен <...>